Kazalo vsebine
1. Pregled in ključne funkcije FOUP
2. Strukturne in oblikovne značilnosti FOUP-a
3. Smernice za razvrščanje in uporabo FOUP
4. Delovanje in pomen FOUP v proizvodnji polprevodnikov
5. Tehnični izzivi in prihodnji razvojni trendi
6. XKH-jeve prilagojene rešitve in podpora storitvam
V procesu proizvodnje polprevodnikov je enotni pod s sprednjim odpiranjem (FOUP) ključni zabojnik, ki se uporablja za zaščito, transport in shranjevanje rezin. Njegova notranjost lahko sprejme 25 kosov 300 mm rezin, njegove glavne komponente pa vključujejo posodo s sprednjim odpiranjem in namenski okvir vrat za odpiranje in zapiranje. FOUP je nosilec jedra v avtomatiziranem transportnem sistemu v tovarnah 12-palčnih rezin. Običajno se prevaža v zaprtem stanju in se odpre šele, ko ga potisnemo v odprtino za nalaganje opreme, kar omogoča prenos rezin v odprtino za nalaganje/razkladanje opreme.
Zasnova FOUP-a je prilagojena zahtevam mikrookolja. Na zadnji strani ima reže za vstavljanje rezin, pokrov pa je posebej zasnovan tako, da se ujema s sponko odpirača. Roboti za ravnanje z rezinami delujejo v okolju čistega zraka razreda 1, kar zagotavlja, da se rezine med prenosom ne kontaminirajo. Poleg tega se FOUP premika med procesnimi orodji prek avtomatiziranega sistema za ravnanje z materialom (AMHS). Sodobne tovarne rezin za prevoz večinoma uporabljajo nadzemne tirnice, medtem ko nekatere starejše tovarne lahko uporabljajo zemeljska avtomatsko vodena vozila (AGV).
FOUP ne omogoča le avtomatiziranega prenosa rezin, temveč služi tudi kot skladiščni sistem. Zaradi številnih proizvodnih korakov lahko celoten proces izdelave rezin traja več mesecev. V kombinaciji z visokimi mesečnimi količinami proizvodnje to pomeni, da je v tovarni na desettisoče rezin nenehno v tranzitu ali začasno shranjenih. Med skladiščenjem se FOUP-i periodično prepihujejo z dušikom, da se prepreči stik onesnaževalcev z rezinami, kar zagotavlja čist in zanesljiv proizvodni proces.
1. Funkcije in pomen FOUP
Osrednja funkcija FOUP-a je zaščita rezin pred zunanjimi udarci in kontaminacijo, zlasti preprečevanje vplivov na izkoristek med prenosom. Učinkovito preprečuje vlago z metodami, kot sta čiščenje s plinom in lokalni nadzor atmosfere (LAC), s čimer zagotavlja, da rezine ostanejo v varnem stanju, medtem ko čakajo na naslednji korak proizvodnje. Njegov zaprt in nadzorovan sistem omogoča vstop le potrebnih spojin in elementov, kar znatno zmanjša negativne učinke HOS, kisika in vlage na rezine.
Ker lahko FOUP, poln 25 rezin, tehta do 9 kilogramov, mora njegov transport temeljiti na avtomatiziranem sistemu za ravnanje z materialom (AMHS). Da bi to olajšali, je FOUP zasnovan z različnimi kombinacijami spojnih plošč, zatičev in lukenj ter je opremljen z elektronskimi oznakami RFID za enostavno identifikacijo in razvrščanje. To avtomatizirano ravnanje skoraj ne zahteva ročnega upravljanja, kar močno zmanjša stopnjo napak ter poveča varnost in natančnost proizvodnega procesa.
2. Struktura in klasifikacija FOUP
Tipične dimenzije FOUP-a so približno 420 mm v širino, 335 mm v globino in 335 mm v višino. Njegove glavne strukturne komponente vključujejo: zgornji OHT (gobasta glava) za transport z nadzemnim dvigalom; sprednja vrata za dostop do rezin opreme; stranske ročaje, pogosto barvno kodirane za razlikovanje procesnih območij z različnimi stopnjami kontaminacije; prostor za kartice za namestitev kartic s sporočili; in spodnjo oznako RFID, ki služi kot edinstveni identifikator za FOUP, kar omogoča orodjem in nadzemnim dvigalom, da ga prepoznajo. Podstavek je opremljen tudi s štirimi identifikacijskimi in pozicionirnimi luknjami za ujemanje z orodjem in razlikovanje procesnih območij.
Glede na uporabo so FOUP-i razvrščeni v tri vrste: PRD (za proizvodnjo), ENG (za inženirske rezine) in MON (za monitorjske rezine). PRD FOUP-i se lahko uporabljajo za proizvodnjo izdelkov, tipi ENG so primerni za raziskave in razvoj ali poskuse, tipi MON pa so namenjeni spremljanju procesov za korake, kot sta CMP in DIFF. Pomembno je omeniti, da se PRD FOUP-i lahko uporabljajo tako za namene ENG kot MON, tipi ENG pa se lahko uporabljajo tudi za MON, vendar obratna operacija predstavlja tveganje za kakovost.
Glede na stopnjo kontaminacije lahko FOUP-e razdelimo na FE FOUP (postopek na začetku, brez kovin), BE FOUP-e (postopek na koncu, vsebuje kovino) in tiste, specializirane za specifične kovinske postopke, kot so NI FOUP, CU FOUP in CO FOUP. FOUP-i za različne postopke se običajno razlikujejo po barvi stranskih ročajev ali vratnih plošč. FOUP-i iz postopkov na začetku se lahko uporabljajo v postopkih na koncu, vendar se FOUP-i iz postopkov na koncu nikoli ne smejo uporabljati v postopkih na začetku, saj bi to povzročilo tveganje kontaminacije.
Kot ključni nosilec v proizvodnji polprevodnikov FOUP z visoko avtomatizacijo in strogim nadzorom kontaminacije zagotavlja varnost in čistočo rezin med proizvodnim procesom, zaradi česar je nepogrešljiva infrastruktura v sodobnih tovarnah rezin.
Zaključek
XKH se zavezuje, da bo strankam zagotavljal visoko prilagojene rešitve FOUP (Front-Opening Unified Pod), pri čemer dosledno upošteva vaše specifične procesne zahteve in specifikacije vmesnika opreme. Z uporabo napredne tehnologije materialov in natančnih proizvodnih procesov zagotavljamo, da vsak izdelek FOUP zagotavlja izjemno zrakotesnost, čistočo in mehansko stabilnost. Naša tehnična ekipa ima poglobljeno strokovno znanje v panogi in ponuja celovito podporo v življenjskem ciklu – od svetovanja pri izbiri in strukturne optimizacije do čiščenja in vzdrževanja – kar zagotavlja brezhibno integracijo in učinkovito sodelovanje med FOUP in vašim sistemom za avtomatizirano ravnanje z materiali (AMHS) ter procesno opremo. Dosledno dajemo prednost varnosti rezin in povečanju proizvodnega donosa kot našim glavnim ciljem. Z inovativnimi izdelki in celovitimi tehničnimi storitvami zagotavljamo robustno garancijo za vaše proizvodne procese polprevodnikov, kar na koncu poveča učinkovitost proizvodnje in donos izdelkov.
Čas objave: 8. september 2025