8-palčna SiC rezina proizvodnega razreda 4H-N SiC substrat
Naslednja tabela prikazuje specifikacije naših 8-palčnih SiC rezin:
| Specifikacije 8-palčnega N-tip SiC DSP | |||||
| Številka | Predmet | Enota | Produkcija | Raziskave | Lutka |
| 1: parametri | |||||
| 1.1 | politip | -- | 4H | 4H | 4H |
| 1.2 | orientacija površine | ° | <11–20> 4±0,5 | <11–20> 4±0,5 | <11–20> 4±0,5 |
| 2: Električni parameter | |||||
| 2.1 | dopant | -- | dušik n-tipa | dušik n-tipa | dušik n-tipa |
| 2.2 | upornost | ohm ·cm | 0,015~0,025 | 0,01~0,03 | NA |
| 3: Mehanski parameter | |||||
| 3.1 | premer | mm | 200±0,2 | 200±0,2 | 200±0,2 |
| 3.2 | debelina | μm | 500±25 | 500±25 | 500±25 |
| 3.3 | Orientacija zareze | ° | [1–100]±5 | [1–100]±5 | [1–100]±5 |
| 3.4 | Globina zareze | mm | 1~1,5 | 1~1,5 | 1~1,5 |
| 3,5 | LTV | μm | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤5 (10 mm * 10 mm) | ≤10 (10 mm * 10 mm) |
| 3.6 | TTV | μm | ≤10 | ≤10 | ≤15 |
| 3,7 | Lok | μm | -25~25 | -45~45 | -65~65 |
| 3,8 | Osnova | μm | ≤30 | ≤50 | ≤70 |
| 3,9 | AFM | nm | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 | Ra≤0,2 |
| 4: Struktura | |||||
| 4.1 | gostota mikrocevk | kos/cm2 | ≤2 | ≤10 | ≤50 |
| 4.2 | vsebnost kovin | atomov/cm2 | ≤1E11 | ≤1E11 | NA |
| 4.3 | TSD | kos/cm2 | ≤500 | ≤1000 | NA |
| 4.4 | Mejne motnje osebnosti | kos/cm2 | ≤2000 | ≤5000 | NA |
| 4,5 | TED | kos/cm2 | ≤7000 | ≤10000 | NA |
| 5. Kakovost sprednje strani | |||||
| 5.1 | spredaj | -- | Si | Si | Si |
| 5.2 | površinska obdelava | -- | Si-face CMP | Si-face CMP | Si-face CMP |
| 5.3 | delec | kos/oblat | ≤100 (velikost ≥0,3 μm) | NA | NA |
| 5.4 | praska | kos/oblat | ≤5, skupna dolžina ≤200 mm | NA | NA |
| 5,5 | Rob odkruški/vdolbine/razpoke/madeži/kontaminacija | -- | Nobena | Nobena | NA |
| 5.6 | Območja politipov | -- | Nobena | Površina ≤10% | Površina ≤30% |
| 5,7 | sprednja oznaka | -- | Nobena | Nobena | Nobena |
| 6: Kakovost hrbta | |||||
| 6.1 | zadnji zaključek | -- | MP s C-obrazom | MP s C-obrazom | MP s C-obrazom |
| 6.2 | praska | mm | NA | NA | NA |
| 6.3 | Rob hrbtnih napak odrezki/vdolbine | -- | Nobena | Nobena | NA |
| 6.4 | Hrapavost hrbta | nm | Ra≤5 | Ra≤5 | Ra≤5 |
| 6,5 | Označevanje hrbta | -- | Zarezo | Zarezo | Zarezo |
| 7: rob | |||||
| 7.1 | rob | -- | Posnetek | Posnetek | Posnetek |
| 8: Paket | |||||
| 8.1 | embalaža | -- | Epi-ready z vakuumom embalaža | Epi-ready z vakuumom embalaža | Epi-ready z vakuumom embalaža |
| 8.2 | embalaža | -- | Večrezinska embalaža za kasete | Večrezinska embalaža za kasete | Večrezinska embalaža za kasete |
Podroben diagram
Sorodni izdelki
Napišite svoje sporočilo tukaj in nam ga pošljite