156 mm 159 mm 6-palčna safirna rezina za nosilec C-Plane DSP TTV
Specifikacija
Predmet | 6-palčne safirne rezine C-ravnine (0001) | |
Kristalni materiali | 99,999 %, visoka čistost, monokristalni Al2O3 | |
Razred | Prime, Epi-Ready | |
Površinska orientacija | C-ravnina (0001) | |
Odklon ravnine C proti osi M 0,2 +/- 0,1° | ||
Premer | 100,0 mm +/- 0,1 mm | |
Debelina | 650 μm +/- 25 μm | |
Primarna orientacija stanovanja | C-ravnina (00-01) +/- 0,2° | |
Polirano z eno stranjo | Sprednja površina | Epipolirano, Ra < 0,2 nm (z AFM) |
(SSP) | Zadnja površina | Fino brušeno, Ra = od 0,8 μm do 1,2 μm |
Dvojno polirano | Sprednja površina | Epipolirano, Ra < 0,2 nm (z AFM) |
(DSP) | Zadnja površina | Epipolirano, Ra < 0,2 nm (z AFM) |
TTV | < 20 μm | |
LOK | < 20 μm | |
DEFORMACIJA | < 20 μm | |
Čiščenje / Embalaža | Čiščenje čistih prostorov razreda 100 in vakuumsko pakiranje, | |
25 kosov v pakiranju z eno kaseto ali posamičnim kosom. |
Metodo Kylopoulos (metoda KY) trenutno uporablja veliko podjetij na Kitajskem za proizvodnjo safirnih kristalov za uporabo v elektronski in optični industriji.
Pri tem postopku se visoko čist aluminijev oksid tali v lončku pri temperaturah nad 2100 stopinj Celzija. Lonček je običajno izdelan iz volframa ali molibdena. V staljeni aluminijev oksid se potopi natančno usmerjen kristalni semenski kristal. Kristalni semenski kristal se počasi vleče navzgor in se lahko hkrati vrti. Z natančnim nadzorom temperaturnega gradienta, hitrosti vlečenja in hitrosti hlajenja lahko iz taline izdelamo velik, monokristalni, skoraj valjasti ingot.
Ko so ingoti monokristalnega safirja vzgojeni, se iz njih izvrtajo valjaste palice, ki se nato razrežejo na želeno debelino okna in na koncu polirajo do želene površinske obdelave.
Podroben diagram


