4H/6H-P 6-palčna SiC rezina Zero MPD proizvodni razred Dummy razred

Kratek opis:

6-palčna SiC rezina tipa 4H/6H-P je polprevodniški material, ki se uporablja v proizvodnji elektronskih naprav, znan po svoji odlični toplotni prevodnosti, visoki prebojni napetosti ter odpornosti na visoke temperature in korozijo. Proizvodna kakovost in kakovost Zero MPD (Micro Pipe Defect) zagotavljata njeno zanesljivost in stabilnost v visokozmogljivi močnostni elektroniki. Proizvodne rezine se uporabljajo za proizvodnjo naprav v velikem obsegu s strogim nadzorom kakovosti, medtem ko se testne rezine uporabljajo predvsem za odpravljanje napak v procesih in testiranje opreme. Zaradi izjemnih lastnosti SiC se široko uporablja v visokotemperaturnih, visokonapetostnih in visokofrekvenčnih elektronskih napravah, kot so močnostne naprave in RF naprave.


Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Tabela skupnih parametrov kompozitnih substratov SiC tipa 4H/6H-P

6 Podlaga iz silicijevega karbida (SiC) s premerom palca Specifikacija

Razred Ničelna proizvodnja MPDRazred (Z) Stopnja) Standardna proizvodnjaRazred (P) Stopnja) Dummy Grade (D Stopnja)
Premer 145,5 mm~150,0 mm
Debelina 350 μm ± 25 μm
Orientacija rezin -Offos: 2,0°–4,0° proti [1120] ± 0,5° za 4H/6H-P, na osi: 〈111〉± 0,5° za 3C-N
Gostota mikrocevk 0 cm-2
Upornost p-tip 4H/6H-P ≤0,1 Ωꞏcm ≤0,3 Ωꞏcm
n-tip 3C-N ≤0,8 mΩꞏcm ≤1 m Ωꞏcm
Primarna orientacija stanovanja 4H/6H-P -{1010} ± 5,0°
3C-N -{110} ± 5,0°
Primarna dolžina ploščatega dela 32,5 mm ± 2,0 mm
Dolžina sekundarnega ploščatega dela 18,0 mm ± 2,0 mm
Sekundarna orientacija stanovanja Silikonska stran navzgor: 90° v smeri smeri od ravne površine Prime ± 5,0°
Izključitev robov 3 mm 6 mm
LTV/TTV/lok/osnova ≤2,5 μm/≤5 μm/≤15 μm/≤30 μm ≤10 μm/≤15 μm/≤25 μm/≤40 μm
Hrapavost Poljski Ra≤1 nm
CMP Ra≤0,2 nm Ra≤0,5 nm
Robne razpoke zaradi visokointenzivne svetlobe Nobena Skupna dolžina ≤ 10 mm, posamezna dolžina ≤ 2 mm
Šestkotne plošče z visokointenzivno svetlobo Kumulativna površina ≤0,05 % Kumulativna površina ≤0,1 %
Politipizirana območja z visokointenzivno svetlobo Nobena Kumulativna površina ≤ 3 %
Vizualni vključki ogljika Kumulativna površina ≤0,05 % Kumulativna površina ≤3%
Praske na silicijevem površju zaradi visokointenzivne svetlobe Nobena Kumulativna dolžina ≤ 1 × premer rezine
Robni čipi visoke intenzivnosti svetlobe Ni dovoljeno širino in globino ≥0,2 mm 5 dovoljenih, ≤1 mm vsaka
Kontaminacija površine silicija zaradi visoke intenzivnosti Nobena
Embalaža Kaseta z več rezinami ali posoda za eno rezino

Opombe:

※ Omejitve napak veljajo za celotno površino rezine, razen za območje izključitve robov. # Praske je treba preveriti na silicijevem robu o

6-palčna SiC rezina tipa 4H/6H-P z razredom Zero MPD in proizvodnim ali navideznim razredom se pogosto uporablja v naprednih elektronskih aplikacijah. Zaradi odlične toplotne prevodnosti, visoke prebojne napetosti in odpornosti na zahtevna okolja je idealna za energetsko elektroniko, kot so visokonapetostna stikala in razsmerniki. Razred Zero MPD zagotavlja minimalne napake, kar je ključnega pomena za visoko zanesljive naprave. Proizvodne rezine se uporabljajo v obsežni proizvodnji energetskih naprav in radiofrekvenčnih aplikacij, kjer sta zmogljivost in natančnost ključnega pomena. Navidezne rezine pa se uporabljajo za kalibracijo procesov, testiranje opreme in izdelavo prototipov, kar omogoča dosleden nadzor kakovosti v okoljih proizvodnje polprevodnikov.

Prednosti kompozitnih substratov SiC tipa N vključujejo

  • Visoka toplotna prevodnost4H/6H-P SiC rezina učinkovito odvaja toploto, zaradi česar je primerna za visokotemperaturne in visokoenergijske elektronske aplikacije.
  • Visoka prebojna napetostZaradi svoje sposobnosti brezhibnega delovanja z visokimi napetostmi je idealen za energetsko elektroniko in visokonapetostne stikalne aplikacije.
  • Ničelna stopnja MPD (mikro napaka cevi)Minimalna gostota napak zagotavlja večjo zanesljivost in zmogljivost, kar je ključnega pomena za zahtevne elektronske naprave.
  • Proizvodni razred za množično proizvodnjoPrimerno za obsežno proizvodnjo visokozmogljivih polprevodniških naprav s strogimi standardi kakovosti.
  • Dummy-Grade za testiranje in kalibracijoOmogoča optimizacijo procesov, testiranje opreme in izdelavo prototipov brez uporabe dragih rezin proizvodne kakovosti.

Na splošno 4H/6H-P 6-palčne SiC rezine z razredom Zero MPD, proizvodnim razredom in navideznim razredom ponujajo znatne prednosti za razvoj visokozmogljivih elektronskih naprav. Te rezine so še posebej koristne v aplikacijah, ki zahtevajo delovanje pri visokih temperaturah, visoko gostoto moči in učinkovito pretvorbo energije. Razred Zero MPD zagotavlja minimalne napake za zanesljivo in stabilno delovanje naprav, medtem ko rezine proizvodnega razreda podpirajo obsežno proizvodnjo s strogim nadzorom kakovosti. Navidezne rezine zagotavljajo stroškovno učinkovito rešitev za optimizacijo procesov in kalibracijo opreme, zaradi česar so nepogrešljive za izdelavo visoko natančnih polprevodnikov.

Podroben diagram

b1
b2

  • Prejšnje:
  • Naprej:

  • Napišite svoje sporočilo tukaj in nam ga pošljite