4-palčna 6-palčna LNOI rezina iz litijevega niobatnega monokristalnega filma
Postopek priprave materialov LNOI je v glavnem razdeljen na naslednje štiri korake
(1) He ioni so bili vbrizgani v X-cut litijev niobatni material z določeno energijo in vneseni v defektno plast na določeni globini pod površinsko plastjo litijevega niobata;
(2) Ionsko implantiran material litijevega niobata je vezan na silicijev substrat z oksidno plastjo, da tvori vezno strukturo;
(3) Vezna struktura je bila žarjena, da so se napake, ki so nastale z implantacijo ionov He, razvile in združile ter tvorile razpoke. Nazadnje je bil litijev niobat ločen vzdolž plasti napak, da so nastale preostale rezine litijevega niobata in LNOI rezine.
Uporaba in prednosti LNOI rezin
1 – Piezoelektrične folije iz litijevega niobata (LNOI) imajo visok piezoelektrični koeficient in dielektrično konstanto, kar omogoča pretvorbo mehanske energije v električno energijo ali električne energije v mehansko energijo. Zato se pogosto uporabljajo na področju senzorjev, kot so tlačni senzorji, senzorji pospeška, temperaturni senzorji itd. Poleg tega se lahko piezoelektrična folija iz litijevega niobata uporablja tudi v akustičnih napravah in vibracijskih napravah, kot so piezoelektrični keramični pretvorniki in kompleksni piezoelektrični keramični filtri.
2-Stabilnost piezoelektrične folije litijevega niobata je tudi ena od njenih prednosti. Zaradi stabilnosti kristalne strukture in kemične inertnosti lahko piezoelektrična folija litijevega niobata deluje pri visokih temperaturah, visoki vlažnosti, močnih kislinah, močnih alkalijah in drugih težkih okoljih, z dobro odpornostjo proti koroziji in vzdržljivostjo.
3-litijev niobat piezoelektrični film je nov piezoelektrični material z odličnimi lastnostmi in stabilnostjo ter ima široke možnosti uporabe. Z nenehnim razvojem znanosti in tehnologije se bo litijev niobat piezoelektrični film uporabljal v vedno več mestih, kar bo ljudem prineslo več udobja in inovacij.
Podroben diagram


