4-palčni 6-palčni monokristalni film LNOI iz litijevega niobata
Postopek priprave materialov LNOI je v glavnem razdeljen na naslednje štiri korake
(1) Ioni He so bili vbrizgani v material litijevega niobata X-reza pri določeni energiji in vneseni v plast napake na določeni globini pod površinsko plastjo litijevega niobata;
(2) Ionsko implantiran material litijevega niobata je vezan na silicijev substrat z oksidno plastjo, da se tvori vezna struktura;
(3) Vezna struktura je bila žarjena, da so se napake, uvedene z implantacijo He ionov, razvile in združile, da so nastale razpoke. Končno je bil litijev niobat ločen vzdolž defektne plasti, da so nastale preostale rezine litijevega niobata in rezine LNOI.
Uporaba in prednosti rezin LNOI
1--Piezoelektrični filmi iz litijevega niobata (LNOI) imajo visok piezoelektrični koeficient in dielektrično konstanto, ki lahko pretvori mehansko energijo v električno energijo ali električno energijo v mehansko energijo. Zato se pogosto uporablja na področju senzorjev, kot so senzorji tlaka, senzorji pospeška, temperaturni senzorji in tako naprej. Poleg tega se lahko piezoelektrični film litijevega niobata uporablja tudi v akustičnih napravah in napravah za vibracije, kot je piezoelektrični keramični pretvornik s kompleksnim piezoelektričnim keramičnim filtrom.
2-Stabilnost piezoelektričnega filma litijevega niobata je tudi ena od njegovih prednosti. Zaradi stabilnosti kristalne strukture in kemične inertnosti lahko piezoelektrični film litijevega niobata deluje pri visokih temperaturah, visoki vlažnosti, močni kislini, močnih alkalijah in drugih težkih okoljih, z dobro odpornostjo proti koroziji in vzdržljivosti.
Piezoelektrični film iz 3-litijevega niobata je nov piezoelektrični material z odlično zmogljivostjo in stabilnostjo ter ima široko možnost uporabe. Z nenehnim razvojem znanosti in tehnologije se bo piezoelektrični film iz litijevega niobata uporabljal v več mestih, kar bo v življenje ljudi prineslo več udobja in inovacij