6-palčna SiC Epitaxiy rezina N/P tip sprejema po meri
Postopek priprave epitaksialne rezine iz silicijevega karbida je metoda, ki uporablja tehnologijo kemičnega naparjevanja (CVD).Spodaj so ustrezna tehnična načela in koraki postopka priprave:
Tehnični princip:
Kemično naparjevanje: z uporabo plina surovine v plinski fazi se pod posebnimi reakcijskimi pogoji razgradi in odloži na substrat, da se tvori želeni tanek film.
Reakcija v plinski fazi: S pirolizo ali reakcijo krekinga se različni plini iz surovin v plinski fazi kemično spremenijo v reakcijski komori.
Koraki postopka priprave:
Obdelava substrata: Substrat je podvržen površinskemu čiščenju in predobdelavi, da se zagotovi kakovost in kristaliničnost epitaksialne rezine.
Odpravljanje napak v reakcijski komori: prilagodite temperaturo, tlak in hitrost pretoka reakcijske komore ter druge parametre, da zagotovite stabilnost in nadzor reakcijskih pogojev.
Oskrba s surovinami: v reakcijsko komoro dovedite zahtevane plinske surovine, po potrebi mešajte in kontrolirajte pretok.
Reakcijski postopek: S segrevanjem reakcijske komore se plinasta surovina podvrže kemični reakciji v komori, da nastane želena usedlina, tj. film silicijevega karbida.
Hlajenje in praznjenje: Na koncu reakcije se temperatura postopoma zniža, da se usedline v reakcijski komori ohladijo in strdijo.
Epitaksialno žarjenje rezin in naknadna obdelava: nanesena epitaksialna rezina je žarjena in naknadno obdelana, da se izboljšajo njene električne in optične lastnosti.
Posebni koraki in pogoji postopka priprave epitaksialnih rezin iz silicijevega karbida se lahko razlikujejo glede na specifično opremo in zahteve.Zgoraj navedeno je le splošen potek in načelo postopka, specifično delovanje je treba prilagoditi in optimizirati glede na dejansko stanje.
Podroben diagram
![WechatIMG321](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG321.jpg)
![WechatIMG320](http://www.xkh-semitech.com/uploads/WechatIMG320.jpg)