8-palčna silicijeva rezina tipa P/N (100) 1-100Ω substrat za regeneracijo
Predstavitev škatle z rezinami
8-palčna silicijeva rezina je pogosto uporabljen silicijev substrat in se pogosto uporablja v procesu izdelave integriranih vezij. Takšne silicijeve rezine se običajno uporabljajo za izdelavo različnih vrst integriranih vezij, vključno z mikroprocesorji, pomnilniškimi čipi, senzorji in drugimi elektronskimi napravami. 8-palčne silicijeve rezine se običajno uporabljajo za izdelavo čipov relativno velikih velikosti, njihove prednosti pa vključujejo večjo površino in možnost izdelave več čipov na eni sami silicijevi rezini, kar vodi do večje učinkovitosti proizvodnje. 8-palčna silicijeva rezina ima tudi dobre mehanske in kemijske lastnosti, zaradi česar je primerna za proizvodnjo integriranih vezij v velikem obsegu.
Značilnosti izdelka
8-palčna silicijeva rezina tipa P/N, polirana (25 kosov)
Orientacija: 200
Upornost: 0,1–40 ohm•cm (Lahko se razlikuje od serije do serije)
Debelina: 725+/-20um
Primer/Monitor/Testna stopnja
LASTNOSTI MATERIALOV
Parameter | Značilnost |
Vrsta/dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arzen |
Usmeritve | <100>, <111> orientacije odrezov po specifikacijah stranke |
Vsebnost kisika | 1019ppmA Tolerance po meri po specifikaciji stranke |
Vsebnost ogljika | < 0,6 ppmA |
MEHANSKE LASTNOSTI
Parameter | Primarni | Monitor/Test A | Preizkus |
Premer | 200±0,2 mm | 200 ± 0,2 mm | 200 ± 0,5 mm |
Debelina | 725±20µm (standardno) | 725±25µm (standardno) 450±25µm 625±25 µm 1000±25µm 1300±25µm 1500±25 µm | 725±50µm (standardno) |
TTV | < 5 µm | < 10 µm | < 15 µm |
Lok | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Zavijanje | < 30 µm | < 30 µm | < 50 µm |
Zaokroževanje robov | POLSTANDARDNO | ||
Označevanje | Samo primarna pol-ravna, pol-standardna ravna Jeida ravna, zarezana |
Parameter | Primarni | Monitor/Test A | Preizkus |
Merila za sprednjo stran | |||
Stanje površine | Kemično mehansko polirano | Kemično mehansko polirano | Kemično mehansko polirano |
Hrapavost površine | < 2 Å | < 2 Å | < 2 Å |
Kontaminacija Delci pri >0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 |
Meglica, Jame Pomarančna lupina | Nobena | Nobena | Nobena |
Žaga, oznake Proge | Nobena | Nobena | Nobena |
Merila za hrbtno stran | |||
Razpoke, gube, sledi žaganja, madeži | Nobena | Nobena | Nobena |
Stanje površine | Kavstično jedkano |
Podroben diagram


