Visokozmogljiv končni efektor iz aluminijevega oksida (vilice) za avtomatizacijo polprevodnikov in čistih prostorov

Kratek opis:

Končni efektor iz aluminijevega oksida, imenovan tudi keramična viličasta roka ali robotska keramična roka, je visoko natančna komponenta za ravnanje, zasnovana za avtomatizirane sisteme v polprevodniških, fotovoltaičnih, panelnih zaslonih in visoko čistih laboratorijskih okoljih. Zasnovan je tako, da zagotavlja izjemno toplotno stabilnost, mehansko togost in kemično odpornost, kar omogoča čist, zanesljiv in varen transport občutljivih materialov, kot so silicijeve rezine, steklene podlage in elektronske mikrokomponente.

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Podroben diagram

Predstavitev izdelka

Kot vrsta robotskega končnega efektorja je ta keramična komponenta končni vmesnik med avtomatiziranim sistemom in obdelovancem. Igra ključno vlogo pri natančnem prenosu, poravnavi, nalaganju/razkladanju in pozicioniranju v čistih prostorih in vakuumskih okoljih.

keramična-ročica-za-polprevodniški-pogon-rezin-G13

keramična-ročica-za-polprevodniški-pogon-rezin-G10

keramična-ročica-za-polprevodniški-pogon-rezin-G07

Pregled materialov – aluminijeva keramika (Al₂O₃)

Aluminijeva keramika je zelo stabilen in kemično inerten tehnični keramični material, znan po svojih odličnih mehanskih in električnih lastnostih. Visoko čista (≥ 99,5 %) glinica, uporabljena v teh končnih efektorjih, zagotavlja:

Visoka trdota (Mohs 9)Aluminijev oksid, takoj za diamantom, zagotavlja izjemno odpornost proti obrabi.
Zmogljivost za visoke temperatureOhranja strukturno celovitost nad 1600 °C.
Kemijska inertnostOdporno na kisline, alkalije, topila in okolja plazemskega jedkanja.
Električna izolacijaZ visoko dielektrično trdnostjo in nizkimi dielektričnimi izgubami.
Nizka toplotna razteznostZagotavlja dimenzijsko stabilnost v okoljih s toplotnimi cikli.
Nizka tvorba delcevBistveno za združljivost s čistimi prostori (razred 10 do razred 1000).

Zaradi teh lastnosti je aluminijeva keramika idealna za kritične operacije v panogah, občutljivih na kontaminacijo.

Funkcionalne aplikacije

Končni efektor iz aluminijevega keramičnega oksida se pogosto uporablja v visokotehnoloških industrijskih procesih, zlasti tam, kjer tradicionalni kovinski ali plastični materiali zaradi toplotnega raztezanja, kontaminacije ali korozije ne uspejo. Ključna področja uporabe vključujejo:

Prenos polprevodniških rezin
Sistemi za nalaganje in razkladanje fotolitografije
Ravnanje s steklenimi substrati v linijah OLED in LCD
Prenos kristalnih silicijevih rezin pri proizvodnji sončnih celic
Avtomatiziran optični ali mikroelektronski pregled
Transport vzorcev v analitičnih ali biomedicinskih laboratorijih
Sistemi za avtomatizacijo vakuumskega okolja

Zaradi svoje sposobnosti delovanja brez vnašanja delcev ali statične nabojnosti je nepogrešljiv za natančne robotske operacije v avtomatizaciji čistih prostorov.

Oblikovalske značilnosti in prilagoditve

Vsak keramični končni efektor je zasnovan tako, da ustreza določeni robotski roki ali sistemu za ravnanje z rezinami. Podpiramo popolno prilagoditev na podlagi:

Združljivost velikosti rezin: 2", 4", 6", 8", 12" in več
Geometrija in razmik režOmogoča oprijem robov, oporo na zadnji strani ali zarezo v obliki rezin
Sesalne odprtineVgrajene vakuumske odprtine ali kanali za brezkontaktno rokovanje
Konfiguracija montažeLuknje, navoji, reže, prilagojene prirobnici končnega orodja vašega robota
Površinska obdelavaPolirano, lepano ali fino brušeno (na voljo Ra < 0,2 µm)
Zaščita robovZaobljeni vogali ali poševni robovi za preprečevanje poškodb rezin

Z uporabo CAD risb ali 3D modelov, ki jih zagotovijo stranke, lahko naši inženirji optimizirajo vsako vilično roko glede teže, trdnosti in čistoče.

en_177_d780dae2bf2639e7dd5142ca3d29c41d_image

Prednosti keramičnih končnih efektorjev

Funkcija	Korist
Visoka mehanska togost	Ohranja dimenzijsko natančnost pri robotskih obremenitvah
Odlična toplotna zmogljivost	Zanesljivo deluje v visokotemperaturnih ali plazemskih okoljih
Brez onesnaženja s kovinami	Pri kritični obdelavi polprevodnikov ni tveganja za kontaminacijo z ioni
Površina z nizkim trenjem	Zmanjša tveganje prask na rezinah ali steklenih podlagah
Antistatično in nemagnetno	Ne privlači prahu in ne vpliva na magnetno občutljive komponente
Dolga življenjska doba	Vrhunska odpornost proti obrabi v ponavljajočih se visokohitrostnih avtomatizacijskih ciklih
Združljivost z izjemno čistočo	Primerno za čiste prostore po standardu ISO 14644 (razred 100 in manj)

V primerjavi s plastičnimi ali aluminijastimi ročicami zagotavlja aluminijeva keramika bistveno izboljšano kemijsko in fizikalno stabilnost z minimalnimi zahtevami po vzdrževanju.

Nepremičnina	Kovinska roka	Plastična roka	Keramična roka iz aluminijevega oksida
Trdota	Zmerno	Nizko	Zelo visoka (Mohsova lestvica 9)
Termična stabilnost	≤ 500 °C	≤ 150 °C	≥ 1600 °C
Kemična odpornost	Zmerno	Slabo	Odlično
Primernost za čiste prostore	Srednje	Nizko	Zelo visoka
Odpornost proti obrabi	Srednje	Nizko	Izjemno
Dielektrična trdnost	Nizko	Srednje	Visoka
Natančna obdelava po meri	Omejeno	Zmerno	Visoka (možno ±0,01 mm)

Tehnične specifikacije

Parameter	Vrednost
Material	Visoko čist aluminijev oksid (≥ 99,5 %)
Delovna temperatura	Do 1600 °C
Hrapavost površine	Ra ≤ 0,2 µm (neobvezno)
Združljive velikosti rezin	od 2" do 12" ali po meri
Toleranca ravnosti	±0,01 mm (odvisno od uporabe)
Podpora za vakuumsko sesanje	Izbirni, prilagodljivi kanali
Možnosti montaže	Vijaki, prirobnice, utorne luknje

Pogosto zastavljena vprašanja (FAQ)

V1: Ali je mogoče končni efektor integrirati v obstoječe robotske sisteme?
A1:Da. Podpiramo prilagoditve glede na vaš robotski vmesnik. Za natančno prilagoditev nam lahko pošljete CAD risbo ali dimenzije prirobnice.

V2: Ali se bodo keramične roke med uporabo zlahka zlomile?
O2:Čeprav je keramika po naravi krhka, naši modeli uporabljajo optimizirano geometrijo za zmanjšanje koncentracije napetosti. V ustreznih pogojih uporabe zagotavljajo bistveno daljšo življenjsko dobo kot kovina ali plastika.

V3: Ali je to mogoče uporabiti v komorah za ultravisoko vakuumsko ali plazemsko jedkanje?
A3:Da. Aluminijeva keramika ne sprošča plinov, je toplotno stabilna in odporna proti koroziji – idealna za okolja z visokim vakuumom, reaktivnimi plini ali plazmo.

V4: Kako se te komponente čistijo ali vzdržujejo?
A4:Čistite jih lahko z deionizirano vodo, alkoholom ali detergenti, primernimi za čiste prostore. Zaradi kemične stabilnosti in inertne površine niso potrebni posebni vzdrževanji.

O nas

XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.