LiTaO3 litijevi tantalat ingoti z dopiranjem Fe/Mg po meri 4-palčni, 6-palčni, 8-palčni za industrijsko zaznavanje
Tehnični parametri
Specifikacija | Konvencionalno | Visoka natančnost |
Materiali | Rezine LiTaO3(LT)/LiNbO3 | Rezine LiTaO3(LT)/LiNbO3 |
Orientacija | X-112°Y, 36°Y, 42°Y ± 0,5° | X-112°Y, 36°Y, 42°Y ± 0,5° |
Vzporedno | 30″ | 10'' |
Pravokotno | 10 minut | 5' |
kakovost površine | 40/20 | 20/10 |
Popačenje valovne fronte | λ/4 pri 632 nm | λ/8 pri 632 nm |
Ravnost površine | λ/4 pri 632 nm | λ/8 pri 632 nm |
Prozorna zaslonka | >90 % | >90 % |
Posnetek | <0,2×45° | <0,2×45° |
Toleranca debeline/premera | ±0,1 mm | ±0,1 mm |
Največje dimenzije | premer 150 × 50 mm | premer 150 × 50 mm |
Storitve XKH
1. Izdelava ingotov v velikem obsegu
Velikost in rezanje: 3–8-palčni ingoti z X/Y/Z-rezanjem, 42°Y-rezanjem in kotnimi rezi po meri (toleranca ±0,01°).
Kontrola dopinga: sočasni doping Fe/Mg po Czochralski metodi (koncentracijsko območje 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) za optimizacijo fotorefraktivne odpornosti in toplotne stabilnosti.
2. Napredne procesne tehnologije
Heterogena integracija: Kompozitne rezine LiTaO3 (POI) na osnovi silicija z nadzorom debeline (300–600 nm) in toplotno prevodnostjo do 8,78 W/m·K za visokofrekvenčne SAW filtre.
Izdelava valovodov: Tehnike izmenjave protonov (PE) in reverzne izmenjave protonov (RPE), ki omogočajo submikronske valovodne sisteme (Δn > 0,7) za visokohitrostne elektrooptične modulatorje (pasovna širina > 40 GHz).
3. Sistemi vodenja kakovosti
Celovito testiranje: Ramanova spektroskopija (preverjanje politipov), XRD (kristaliničnost), AFM (morfologija površine) in testiranje optične enakomernosti (Δn <5×10⁻⁵).
4. Podpora globalni dobavni verigi
Proizvodna zmogljivost: Mesečna proizvodnja > 5.000 ingotov (8-palčni: 70 %), podpora 48-urni nujni dostavi.
Logistična mreža: Pokritost v Evropi, Severni Ameriki in azijsko-pacifiški regiji z zračnim/pomorskim prevozom s temperaturno nadzorovano embalažo.
5. Tehnični sorazvoj
Skupni laboratoriji za raziskave in razvoj: sodelovanje na platformah za fotonsko integracijo (npr. vezava slojev SiO2 z nizkimi izgubami).
Povzetek
Ingoti LiTaO3 služijo kot strateški materiali, ki preoblikujejo optoelektroniko in kvantne tehnologije. Z inovacijami na področju rasti kristalov (npr. PVT), zmanjševanja napak in heterogene integracije (npr. POI) zagotavljamo visoko zanesljive in stroškovno učinkovite rešitve za komunikacije 5G/6G, kvantno računalništvo in industrijski internet stvari. Zavezanost XKH k napredku pri zmanjševanju napak v ingotih in povečanju proizvodnje 8-palčnih ingotov strankam zagotavlja vodilno vlogo v globalnih dobavnih verigah in spodbuja naslednjo dobo polprevodniških ekosistemov s širokopasovno vrzeljo.

