LiTaO3 rezina 2-8 palcev 10x10x0,5 mm 1sp 2sp za 5G/6G komunikacije
Tehnični parametri
Ime | LiTaO3 optičnega razreda | Raven hrupa LiTaO3 |
Aksialno | Z-rez +/- 0,2 ° | 36° Y rez / 42° Y rez / X rez (+ / - 0,2 °) |
Premer | 76,2 mm + / - 0,3 mm/ 100±0,2 mm | 76,2 mm +/- 0,3 mm 100 mm +/- 0,3 mm 0 ali 150 ± 0,5 mm |
Referenčna ravnina | 22 mm +/- 2 mm | 22 mm +/- 2 mm 32 mm +/- 2 mm |
Debelina | 500um +/-5mm 1000um +/-5mm | 500um +/-20mm 350um +/-20mm |
TTV | ≤ 10 μm | ≤ 10 μm |
Curiejeva temperatura | 605 °C +/- 0,7 °C (metoda DTA) | 605 °C +/-3 °C (metoda DTA) |
Kakovost površine | Dvostransko poliranje | Dvostransko poliranje |
Posneti robovi | zaokroževanje robov | zaokroževanje robov |
Ključne značilnosti
1. Električna in optična zmogljivost
· Elektrooptični koeficient: r33 doseže 30 pm/V (X-cut), kar je 1,5× več kot LiNbO3, kar omogoča ultra širokopasovno elektrooptično modulacijo (pasovna širina > 40 GHz).
· Širok spektralni odziv: Območje prenosa 0,4–5,0 μm (debelina 8 mm), z ultravijoličnim absorpcijskim robom do 280 nm, idealno za UV laserje in naprave s kvantnimi pikami.
· Nizek piroelektrični koeficient: dP/dT = 3,5 × 10⁻⁴ C/(m²·K), kar zagotavlja stabilnost v visokotemperaturnih infrardečih senzorjih.
2. Toplotne in mehanske lastnosti
· Visoka toplotna prevodnost: 4,6 W/m·K (X-cut), štirikrat večja od kremena, prenese termične cikle od -200 do 500 °C.
· Nizek koeficient toplotnega raztezanja: CTE = 4,1 × 10⁻⁶/K (25–1000 °C), združljiv s silikonsko embalažo za zmanjšanje toplotnih obremenitev.
3. Nadzor napak in natančnost obdelave
· Gostota mikrocevk: <0,1 cm⁻² (8-palčne rezine), gostota dislokacij <500 cm⁻² (preverjeno z jedkanjem s KOH).
· Kakovost površine: CMP-polirano do Ra < 0,5 nm, kar ustreza zahtevam glede ravnosti EUV litografije.
Ključne aplikacije
Domena | Scenariji uporabe | Tehnične prednosti |
Optične komunikacije | 100G/400G DWDM laserji, hibridni moduli silicijeve fotonike | Širok spektralni prenos in nizka izguba valovoda (α <0,1 dB/cm) rezine LiTaO3 omogočata širitev C-pasu. |
Komunikacije 5G/6G | SAW filtri (1,8–3,5 GHz), BAW-SMR filtri | 42°Y-rezane rezine dosegajo Kt² > 15 %, kar zagotavlja nizko vstavno izgubo (< 1,5 dB) in visoko odstopanje (> 30 dB). |
Kvantne tehnologije | Detektorji posameznih fotonov, parametrični viri za pretvorbo navzdol | Visok nelinearni koeficient (χ(2)=40 pm/V) in nizka hitrost štetja v temi (<100 štetij/s) izboljšata kvantno natančnost. |
Industrijsko zaznavanje | Visokotemperaturni tlačni senzorji, tokovni transformatorji | Piezoelektrični odziv rezine LiTaO3 (g33 > 20 mV/m) in visoka temperaturna toleranca (> 400 °C) sta primerna za ekstremna okolja. |
Storitve XKH
1. Izdelava rezin po meri
· Velikost in rezanje: 2–8-palčne rezine z X/Y/Z-rezanjem, 42°Y-rezanjem in kotnimi rezi po meri (toleranca ±0,01°).
· Kontrola dopiranja: dopiranje z Fe in Mg po Czochralskijevi metodi (koncentracijsko območje 10¹⁶–10¹⁹ cm⁻³) za optimizacijo elektrooptičnih koeficientov in toplotne stabilnosti.
2. Napredne procesne tehnologije
· Periodično polariziranje (PPLT): tehnologija Smart-Cut za rezine LTOI, ki dosega natančnost periode domene ±10 nm in kvazifazno usklajeno (QPM) frekvenčno pretvorbo.
· Heterogena integracija: Kompozitne rezine LiTaO3 (POI) na osnovi Si z nadzorom debeline (300–600 nm) in toplotno prevodnostjo do 8,78 W/m·K za visokofrekvenčne SAW filtre.
3. Sistemi vodenja kakovosti
· Testiranje od začetka do konca: Ramanova spektroskopija (preverjanje politipov), XRD (kristaliničnost), AFM (morfologija površine) in testiranje optične enakomernosti (Δn < 5×10⁻⁵).
4. Podpora globalni dobavni verigi
· Proizvodna zmogljivost: Mesečna proizvodnja > 5.000 rezin (8-palčne: 70 %), z 48-urno nujno dostavo.
· Logistična mreža: Pokritost v Evropi, Severni Ameriki in azijsko-pacifiški regiji z zračnim/pomorskim prevozom s temperaturno nadzorovano embalažo.


