Vzorčast safirni substrat PSS 2-palčni, 4-palčni, 6-palčni ICP suho jedkanje se lahko uporablja za LED čipe
Osnovna značilnost
1. Značilnosti materiala: Material podlage je monokristalni safir (Al₂O₃) z visoko trdoto, visoko toplotno odpornostjo in kemično stabilnostjo.
2. Površinska struktura: Površina se oblikuje s fotolitografijo in jedkanjem v periodične mikro-nano strukture, kot so stožci, piramide ali šesterokotne matrike.
3. Optična zmogljivost: Z zasnovo površinskega vzorca se zmanjša celoten odboj svetlobe na vmesniku in izboljša učinkovitost odvajanja svetlobe.
4. Toplotna učinkovitost: Safirni substrat ima odlično toplotno prevodnost, primeren za uporabo z visokozmogljivimi LED diodami.
5. Specifikacije velikosti: Običajne velikosti so 2 palca (50,8 mm), 4 palce (100 mm) in 6 palcev (150 mm).
Glavna področja uporabe
1. Proizvodnja LED diod:
Izboljšana učinkovitost odvajanja svetlobe: PSS zmanjša izgubo svetlobe z zasnovo vzorcev, kar znatno izboljša svetlost in svetlobno učinkovitost LED diod.
Izboljšana kakovost epitaksialne rasti: Vzorčasta struktura zagotavlja boljšo rastno osnovo za epitaksialne plasti GaN in izboljša delovanje LED.
2. Laserska dioda (LD):
Visokozmogljivi laserji: Visoka toplotna prevodnost in stabilnost PSS sta primerni za visokozmogljive laserske diode, kar izboljša učinkovitost odvajanja toplote in zanesljivost.
Nizek prag toka: Optimizirajte epitaksialno rast, zmanjšajte prag toka laserske diode in izboljšajte učinkovitost.
3. Fotodetektor:
Visoka občutljivost: Visoka prepustnost svetlobe in nizka gostota napak PSS izboljšata občutljivost in hitrost odziva fotodetektorja.
Širok spektralni odziv: primeren za fotoelektrično detekcijo v ultravijoličnem do vidnem območju.
4. Močnostna elektronika:
Visokonapetostna odpornost: Visoka izolacija in toplotna stabilnost safirja sta primerni za visokonapetostne naprave.
Učinkovito odvajanje toplote: Visoka toplotna prevodnost izboljša učinkovitost odvajanja toplote napajalnih naprav in podaljša življenjsko dobo.
5. Radiofrekvenčne naprave:
Visokofrekvenčna zmogljivost: Nizka dielektrična izguba in visoka toplotna stabilnost PSS sta primerni za visokofrekvenčne RF naprave.
Nizek šum: Visoka ravnost in nizka gostota napak zmanjšata šum naprave in izboljšata kakovost signala.
6. Biosenzorji:
Visoka občutljivost zaznavanja: Visoka prepustnost svetlobe in kemijska stabilnost PSS sta primerni za visoko občutljive biosenzorje.
Biokompatibilnost: Zaradi biokompatibilnosti safirja je primeren za medicinske in biodetekcijske aplikacije.
Vzorec safirnega substrata (PSS) z epitaksialnim materialom GaN:
Vzorec safirnega substrata (PSS) je idealen substrat za epitaksialno rast GaN (galijev nitrid). Konstanta mreže safirja je blizu GaN, kar lahko zmanjša neusklajenost mreže in napake pri epitaksialni rasti. Mikro-nano struktura površine PSS ne le izboljša učinkovitost ekstrakcije svetlobe, temveč tudi izboljša kakovost kristalov epitaksialne plasti GaN, s čimer se izboljšata delovanje in zanesljivost LED diode.
Tehnični parametri
| Predmet | Vzorčasta safirna podlaga (2~6 palcev) | ||
| Premer | 50,8 ± 0,1 mm | 100,0 ± 0,2 mm | 150,0 ± 0,3 mm |
| Debelina | 430 ± 25 μm | 650 ± 25 μm | 1000 ± 25 μm |
| Površinska orientacija | C-ravnina (0001) izven kota proti osi M (10-10) 0,2 ± 0,1° | ||
| C-ravnina (0001) izven kota proti osi A (11-20) 0 ± 0,1° | |||
| Primarna orientacija stanovanja | A-ravnina (11–20) ± 1,0° | ||
| Primarna dolžina ploščatega dela | 16,0 ± 1,0 mm | 30,0 ± 1,0 mm | 47,5 ± 2,0 mm |
| R-ravnina | 9. ura | ||
| Obdelava sprednje površine | Vzorčasto | ||
| Zadnja površina | SSP: fino brušen, Ra=0,8-1,2 μm; DSP: epipoliran, Ra<0,3 nm | ||
| Laserski žig | Zadnja stran | ||
| TTV | ≤8 μm | ≤10 μm | ≤20 μm |
| LOK | ≤10 μm | ≤15 μm | ≤25 μm |
| DEFORMACIJA | ≤12 μm | ≤20 μm | ≤30 μm |
| Izključitev robov | ≤2 mm | ||
| Specifikacija vzorca | Struktura oblike | Kupola, stožec, piramida | |
| Višina vzorca | 1,6~1,8 μm | ||
| Premer vzorca | 2,75~2,85 μm | ||
| Vzorčni prostor | 0,1~0,3 μm | ||
XKH je specializiran za zagotavljanje visokokakovostnih, prilagojenih vzorčastih safirnih substratov (PSS) s tehnično podporo in poprodajnimi storitvami, ki strankam pomagajo doseči učinkovite inovacije na področju LED, zaslonov in optoelektronike.
1. Visokokakovostna dobava PSS: Vzorčasti safirni substrati v različnih velikostih (2", 4", 6") za potrebe LED, zaslonov in optoelektronskih naprav.
2. Prilagojena zasnova: Prilagodite površinsko mikro-nano strukturo (kot so stožec, piramida ali šesterokotna matrika) glede na potrebe strank, da optimizirate učinkovitost ekstrakcije svetlobe.
3. Tehnična podpora: Zagotavljanje načrtovanja aplikacij PSS, optimizacije procesov in tehničnega svetovanja za pomoč strankam pri izboljšanju delovanja izdelkov.
4. Podpora za epitaksialno rast: Zagotovljen je PSS, usklajen z epitaksialnim materialom GaN, da se zagotovi visokokakovostna rast epitaksialne plasti.
5. Testiranje in certificiranje: Zagotovite poročilo o pregledu kakovosti PSS, da zagotovite, da izdelki izpolnjujejo industrijske standarde.
Podroben diagram
