Vrhunski safirni dvižni zatiči Monokristalni Al₂O₃ Dvižni zatič iz rezin
Tehnični parametri
| Kemična sestava | Al2O3 |
| Trdota | 9Mohs |
| Optična narava | Enoosni |
| Lomni količnik | 1,762–1,770 |
| Dvolomnost | 0,008–0,010 |
| Disperzija | Nizko, 0,018 |
| Sijaj | Steklasto |
| Pleohroizem | Zmerna do močna |
| Premer | 0,4 mm–30 mm |
| Toleranca premera | 0,004 mm–0,05 mm |
| dolžina | 2 mm–150 mm |
| toleranca dolžine | 0,03 mm–0,25 mm |
| Kakovost površine | 40/20 |
| Okroglost površine | RZ0.05 |
| Oblika po meri | oba konca ravna, en konec redius, oba konca redius, sedlasti zatiči in posebne oblike |
Ključne lastnosti
1. Izjemna trdota in odpornost proti obrabi: Z Mohsovo trdoto 9, ki je druga najboljša za diamantom, imajo safirni dvižni zatiči lastnosti obrabe, ki bistveno prekašajo tradicionalne alternative iz silicijevega karbida, aluminijeve keramike ali kovinskih zlitin. Ta izjemna trdota pomeni znatno manjše nastajanje delcev in potrebe po vzdrževanju, pri čemer je življenjska doba običajno 3–5-krat daljša od konvencionalnih materialov v primerljivih aplikacijah.
2. Vrhunska odpornost na visoke temperature: Zasnovane so tako, da prenesejo dolgotrajno delovanje pri temperaturah nad 1000 °C brez degradacije, safirni dvižni zatiči pa ohranjajo dimenzijsko stabilnost in mehansko trdnost v najzahtevnejših termičnih procesih. Zaradi tega so še posebej dragocene za kritične aplikacije, kot so kemično nanašanje iz pare (CVD), kovinsko-organsko kemično nanašanje iz pare (MOCVD) in sistemi visokotemperaturnega žarjenja, kjer lahko neusklajenost toplotnega raztezanja ogrozi izkoristek procesa.
3. Kemijska inertnost: Monokristalna struktura safirja kaže izjemno odpornost na napade HF kisline, kemikalij na osnovi klora in drugih agresivnih procesnih plinov, ki se pogosto pojavljajo pri izdelavi polprevodnikov. Ta kemijska stabilnost zagotavlja dosledno delovanje v plazemskih okoljih in preprečuje nastanek površinskih napak, ki bi lahko povzročile kontaminacijo rezin.
4. Nizka kontaminacija z delci: Ti dvižni zatiči, izdelani iz brezhibnih, visoko čistih safirnih kristalov (običajno > 99,99 %), kažejo minimalno odpadanje delcev tudi po daljši uporabi. Njihova neporozna površinska struktura in polirani zaključki izpolnjujejo najstrožje zahteve za čiste prostore in neposredno prispevajo k izboljšanim izkoristkom procesov pri napredni proizvodnji polprevodniških vozlišč.
Visoko natančna obdelava: Z uporabo naprednih tehnik brušenja z diamanti in laserske obdelave je mogoče izdelati safirne dvižne zatiče s submikronskimi tolerancami in površinsko obdelavo pod 0,05 μm Ra. Za reševanje specifičnih izzivov pri ravnanju z rezinami v opremi za izdelavo naslednje generacije je mogoče izdelati geometrije po meri, vključno s stožčastimi profili, posebnimi konfiguracijami konic in integriranimi funkcijami poravnave.
Primarne aplikacije
1. Proizvodnja polprevodnikov: Safirni dvižni zatiči igrajo ključno vlogo v naprednih sistemih za obdelavo rezin, saj zagotavljajo zanesljivo oporo in natančno pozicioniranje med fotolitografijo, jedkanjem, nanašanjem in inšpekcijskimi postopki. Zaradi svoje toplotne in kemične stabilnosti so še posebej dragoceni v orodjih za EUV litografijo in naprednih aplikacijah pakiranja, kjer je dimenzijska stabilnost v nanometrskem merilu bistvenega pomena.
2. LED epitaksija (MOCVD): V galijevem nitridu (GaN) in sorodnih sestavljenih polprevodniških epitaksialnih rastnih sistemih safirni dvigalni zatiči zagotavljajo stabilno oporo rezin pri temperaturah, ki pogosto presegajo 1000 °C. Njihove usklajene toplotne raztezne lastnosti s safirnimi substrati zmanjšujejo upogibanje rezin in nastanek zdrsa med epitaksialno rastjo.
3. Fotovoltaična industrija: Visoko učinkovita proizvodnja sončnih celic izkorišča edinstvene lastnosti safirja pri visokotemperaturni difuziji, sintranju in nanašanju tankih filmov. Odpornost nožic proti obrabi je še posebej dragocena v okoljih množične proizvodnje, kjer življenjska doba komponent neposredno vpliva na proizvodne stroške.
4. Precizna optika in obdelava elektronike: Poleg polprevodniških aplikacij se safirni dvižni zatiči uporabljajo tudi pri ravnanju z občutljivimi optičnimi komponentami, MEMS napravami in posebnimi substrati, kjer sta obdelava brez kontaminacije in preprečevanje prask ključnega pomena. Zaradi svojih električnih izolacijskih lastnosti so idealni za aplikacije, ki vključujejo elektrostatično občutljive naprave.
Storitve XKH za dvižne zatiče iz safirja
XKH nudi celovito tehnično podporo in prilagojene rešitve za safirne dvižne zatiče:
1. Storitve razvoja po meri
· Podpora za prilagoditev dimenzij, geometrije in površinske obdelave
· Priporočila za izbiro materiala in optimizacijo tehničnih parametrov
· Skupinsko načrtovanje izdelkov in preverjanje s simulacijo
2. Zmogljivosti precizne izdelave
· Visoko natančna obdelava s tolerancami, nadzorovanimi znotraj ±1 μm
· Posebne obdelave, vključno z zrcalnim poliranjem in posnemanjem robov
· Izbirne rešitve za modifikacijo površine, kot so premazi proti prijemanju
3. Sistem zagotavljanja kakovosti
· Strogo izvajanje vhodnega pregleda materiala in nadzora procesov
· Polnodimenzionalni optični pregled in analiza površinske morfologije
· Zagotavljanje poročil o preskusih delovanja izdelkov
4. Storitve dobavne verige
· Hitra dostava standardnih izdelkov
· Namensko upravljanje zalog za ključne stranke
5. Tehnična podpora
· Svetovanje o aplikativnih rešitvah
· Hiter poprodajni odziv
Zavezani smo k zagotavljanju visokokakovostnih izdelkov iz safirnih dvižnih zatičev in profesionalnih tehničnih storitev, ki izpolnjujejo stroge zahteve polprevodniške, LED in drugih naprednih industrij.
