Roka za prenašanje rezin iz keramičnega SiC končnega efektorja

Roka za prenašanje končnega efektorja iz keramike SiC za prenašanje rezin Izpostavljena slika

Kratek opis:

Rezine LiNbO₃ predstavljajo zlati standard v integrirani fotoniki in precizni akustiki ter zagotavljajo neprimerljivo zmogljivost v sodobnih optoelektronskih sistemih. Kot vodilni proizvajalec smo izpopolnili umetnost izdelave teh inženirskih substratov z naprednimi tehnikami uravnoteženja prenosa pare in dosegli vodilno kristalno popolnost v industriji z gostoto napak pod 50/cm².

Proizvodne zmogljivosti XKH segajo od premerov od 75 mm do 150 mm, z natančnim nadzorom orientacije (X/Y/Z-rez ±0,3°) in specializiranimi možnostmi dopiranja, vključno z redkozemeljskimi elementi. Zaradi edinstvene kombinacije lastnosti rezin LiNbO₃ – vključno z njihovim izjemnim koeficientom r₃₃ (32±2 pm/V) in široko prosojnostjo od bližnjega UV do srednjega IR – so nepogrešljive za fotonska vezja naslednje generacije in visokofrekvenčne akustične naprave.

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Povzetek končnega efektorja SiC iz keramike

Keramični končni efektor SiC (silicijev karbid) je ključna komponenta v visoko natančnih sistemih za ravnanje z rezinami, ki se uporabljajo v proizvodnji polprevodnikov in naprednih mikrofabrikacijskih okoljih. Ta specializirani končni efektor, zasnovan tako, da izpolnjuje zahtevne zahteve ultra čistih, visokotemperaturnih in zelo stabilnih okolij, zagotavlja zanesljiv in brez kontaminacije transport rezin med ključnimi proizvodnimi koraki, kot so litografija, jedkanje in nanašanje.

Keramični končni efektor SiC izkorišča vrhunske lastnosti materiala silicijevega karbida – kot so visoka toplotna prevodnost, izjemna trdota, odlična kemična inertnost in minimalno toplotno raztezanje – in ponuja neprekosljivo mehansko togost in dimenzijsko stabilnost tudi pri hitrih termičnih ciklih ali v korozivnih procesnih komorah. Zaradi nizkega nastajanja delcev in odpornosti na plazmo je še posebej primeren za aplikacije v čistih prostorih in vakuumski obdelavi, kjer sta ohranjanje celovitosti površine rezin in zmanjšanje kontaminacije z delci najpomembnejša.

Uporaba keramičnega končnega efektorja SiC

1. Ravnanje s polprevodniškimi rezinami

Keramični končni efektorji SiC se pogosto uporabljajo v polprevodniški industriji za ravnanje s silicijevimi rezinami med avtomatizirano proizvodnjo. Ti končni efektorji so običajno nameščeni na robotskih rokah ali sistemih za vakuumski prenos in so zasnovani za rezine različnih velikosti, kot sta 200 mm in 300 mm. So bistveni v procesih, kot so kemično nanašanje iz parne faze (CVD), fizično nanašanje iz parne faze (PVD), jedkanje in difuzija – kjer so pogoste visoke temperature, vakuumski pogoji in korozivni plini. Zaradi izjemne toplotne odpornosti in kemične stabilnosti je SiC idealen material, ki prenese tako zahtevna okolja brez degradacije.

2. Združljivost s čistimi prostori in vakuumom

V čistih prostorih in vakuumskih okoljih, kjer je treba kontaminacijo z delci čim bolj zmanjšati, ponuja SiC keramika pomembne prednosti. Gosta, gladka površina materiala preprečuje nastajanje delcev in pomaga ohranjati celovitost rezin med transportom. Zaradi tega so SiC končni efektorji še posebej primerni za kritične procese, kot sta ekstremna ultravijolična litografija (EUV) in nanašanje atomskih plasti (ALD), kjer je čistoča ključnega pomena. Poleg tega nizko sproščanje plinov in visoka plazemska odpornost SiC zagotavljata zanesljivo delovanje v vakuumskih komorah, kar podaljšuje življenjsko dobo orodij in zmanjšuje pogostost vzdrževanja.

3. Visoko natančni sistemi za pozicioniranje

Natančnost in stabilnost sta ključnega pomena pri naprednih sistemih za ravnanje z rezinami, zlasti v opremi za metrologijo, pregled in poravnavo. SiC keramika ima izjemno nizek koeficient toplotnega raztezanja in visoko togost, kar končnemu efektorju omogoča, da ohrani svojo strukturno natančnost tudi pri toplotnih ciklih ali mehanskih obremenitvah. To zagotavlja, da rezine med transportom ostanejo natančno poravnane, kar zmanjšuje tveganje za mikro praske, neporavnanost ali napake pri meritvah – dejavnike, ki so vse bolj kritični pri procesnih vozliščih pod 5 nm.

Lastnosti končnega efektorja SiC keramike

1. Visoka mehanska trdnost in trdota

SiC keramika ima izjemno mehansko trdnost, z upogibno trdnostjo, ki pogosto presega 400 MPa, in trdoto po Vickersu nad 2000 HV. Zaradi tega je zelo odporna na mehanske obremenitve, udarce in obrabo, tudi po dolgotrajni uporabi. Visoka togost SiC prav tako zmanjšuje upogib med hitrimi prenosi rezin, kar zagotavlja natančno in ponovljivo pozicioniranje.

2. Odlična toplotna stabilnost

Ena najdragocenejših lastnosti SiC keramike je njena sposobnost, da prenese izjemno visoke temperature – pogosto do 1600 °C v inertnih atmosferah – brez izgube mehanske celovitosti. Njihov nizek koeficient toplotnega raztezanja (~4,0 x 10⁻⁶ /K) zagotavlja dimenzijsko stabilnost pri termičnih ciklih, zaradi česar je idealna za aplikacije, kot so CVD, PVD in visokotemperaturno žarjenje.

Vprašanja in odgovori o končnem efektorju SiC keramike

V: Kateri material se uporablja v končnem efektorju rezin?

O:Končni efektorji za rezine so običajno izdelani iz materialov, ki ponujajo visoko trdnost, toplotno stabilnost in nizko nastajanje delcev. Med njimi je keramika iz silicijevega karbida (SiC) eden najnaprednejših in najprimernejših materialov. SiC keramika je izjemno trda, toplotno stabilna, kemično inertna in odporna proti obrabi, zaradi česar je idealna za ravnanje z občutljivimi silicijevimi rezinami v čistih prostorih in vakuumskih okoljih. V primerjavi s kremenom ali prevlečenimi kovinami SiC ponuja vrhunsko dimenzijsko stabilnost pri visokih temperaturah in ne oddaja delcev, kar pomaga preprečevati kontaminacijo.