SiC keramična viličasta ročica/končni efektor – napredno natančno rokovanje za proizvodnjo polprevodnikov

Kratek opis:

Keramična viličasta roka SiC, pogosto imenovana keramični končni efektor, je visokozmogljiva komponenta za natančno ravnanje, posebej razvita za transport, poravnavo in pozicioniranje rezin v visokotehnoloških panogah, zlasti v proizvodnji polprevodnikov in fotovoltaike. Ta komponenta, izdelana iz visoko čiste silicijevega karbidne keramike, združuje izjemno mehansko trdnost, izjemno nizko toplotno razteznost ter vrhunsko odpornost na toplotne udarce in korozijo.

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Podroben diagram

Pregled izdelka

Za razliko od tradicionalnih končnih efektorjev iz aluminija, nerjavečega jekla ali celo kremena, keramični končni efektorji SiC ponujajo neprekosljivo zmogljivost v vakuumskih komorah, čistih sobah in zahtevnih procesnih okoljih, zaradi česar so ključni del robotov za ravnanje z rezinami naslednje generacije. Z naraščajočim povpraševanjem po proizvodnji brez kontaminacije in strožjimi tolerancami pri izdelavi čipov uporaba keramičnih končnih efektorjev hitro postaja industrijski standard.

Načelo izdelave

IzdelavaSiC keramični končni efektorjivključuje vrsto visoko natančnih in čistih postopkov, ki zagotavljajo tako zmogljivost kot vzdržljivost. Običajno se uporabljata dva glavna postopka:

Reakcijsko vezan silicijev karbid (RB-SiC)

Pri tem postopku se predoblika iz prahu silicijevega karbida in veziva pri visokih temperaturah (~1500 °C) infiltrira s staljenim silicijem, ki reagira s preostalim ogljikom in tvori gost, tog kompozit SiC-Si. Ta metoda ponuja odličen dimenzijski nadzor in je stroškovno učinkovita za proizvodnjo v velikem obsegu.

Breztlačno sintran silicijev karbid (SSiC)

SSiC se proizvaja s sintranjem ultra finega, visoko čistega prahu SiC pri izjemno visokih temperaturah (> 2000 °C) brez uporabe dodatkov ali vezivne faze. Rezultat je izdelek s skoraj 100-odstotno gostoto in najvišjimi mehanskimi in toplotnimi lastnostmi med SiC materiali. Idealen je za ultra kritične aplikacije ravnanja z rezinami.

Naknadna obdelava

Precizna CNC obdelavaDosega visoko ravnost in vzporednost.
Površinska obdelavaDiamantno poliranje zmanjša hrapavost površine na <0,02 µm.
Inšpekcijski pregledZa preverjanje vsakega kosa se uporabljajo optična interferometrija, koordinatni merilni stroj (CMM) in nedestruktivno testiranje.

Ti koraki zagotavljajo, daKončni efektor SiCzagotavlja dosledno natančnost namestitve rezin, odlično planarnost in minimalno nastajanje delcev.

Ključne lastnosti in prednosti

Funkcija	Opis
Ultra visoka trdota	Trdota po Vickersu > 2500 HV, odporna proti obrabi in krušenju.
Nizka toplotna razteznost	CTE ~4,5×10⁻⁶/K, kar omogoča dimenzijsko stabilnost pri termičnih ciklih.
Kemijska inertnost	Odporno na HF, HCl, plazemske pline in druge korozivne snovi.
Odlična odpornost na toplotne udarce	Primerno za hitro segrevanje/hlajenje v vakuumskih in pečehnih sistemih.
Visoka togost in trdnost	Podpira dolge konzolne vilice brez upogibanja.
Nizko odplinjevanje	Idealno za okolja z ultra visokim vakuumom (UHV).
Pripravljeno za čiste prostore ISO razreda 1	Delovanje brez delcev zagotavlja celovitost rezin.

Aplikacije

Keramična viličasta ročica/končni efektor SiC se pogosto uporablja v panogah, ki zahtevajo izjemno natančnost, čistočo in kemično odpornost. Ključni scenariji uporabe vključujejo:

Proizvodnja polprevodnikov

Vlaganje/razlaganje rezin v sistemih za nanašanje (CVD, PVD), jedkanje (RIE, DRIE) in čiščenje.
Robotski transport rezin med FOUP-i, kasetami in procesnimi orodji.
Visokotemperaturna obdelava med termično obdelavo ali žarjenjem.

Proizvodnja fotonapetostnih celic

Občutljiv transport krhkih silicijevih rezin ali sončnih substratov v avtomatiziranih linijah.

Industrija ploskih zaslonov (FPD)

Premikanje velikih steklenih plošč ali substratov v proizvodnih okoljih OLED/LCD.

Sestavljeni polprevodniki / MEMS

Uporablja se v proizvodnih linijah GaN, SiC in MEMS, kjer sta nadzor kontaminacije in natančnost pozicioniranja ključnega pomena.

Njegova vloga končnega efektorja je še posebej pomembna pri zagotavljanju brezhibnega in stabilnega ravnanja med občutljivimi operacijami.

Možnosti prilagajanja

Ponujamo obsežne prilagoditve za različne zahteve glede opreme in procesov:

Oblika vilicDvokraka, večprstna ali dvonivojska postavitev.
Združljivost velikosti rezinOd 2” do 12” rezin.
Montažni vmesnikiZdružljivo z robotskimi rokami proizvajalca originalne opreme.
Tolerance debeline in površineNa voljo je mikronska ravnost in zaokroževanje robov.
Protizdrsne lastnosti: Izbirne površinske teksture ali premazi za varen oprijem rezin.

Vsakkeramični končni efektorje zasnovan v sodelovanju s strankami, da se zagotovi natančno prileganje z minimalnimi spremembami orodja.

Pogosto zastavljena vprašanja (FAQ)

V1: Zakaj je SiC boljši od kremena za uporabo v končnem efektorju?
A1:Čeprav se kremen pogosto uporablja zaradi svoje čistosti, mu primanjkuje mehanske žilavosti in je nagnjen k lomljenju pod obremenitvijo ali temperaturnim šokom. SiC ponuja vrhunsko trdnost, odpornost proti obrabi in toplotno stabilnost, kar znatno zmanjša tveganje za izpad in poškodbe rezin.

V2: Ali je ta keramična viličasta roka združljiva z vsemi robotskimi upravljavci rezin?
O2:Da, naši keramični končni efektorji so združljivi z večino večjih sistemov za ravnanje z rezinami in jih je mogoče prilagoditi vašim specifičnim robotskim modelom z natančnimi inženirskimi risbami.

V3: Ali lahko obdela 300 mm rezine brez upogibanja?
A3:Absolutno. Visoka togost SiC omogoča, da tudi tanke, dolge vilice varno držijo 300 mm rezine brez upogibanja ali odklona med gibanjem.

V4: Kakšna je tipična življenjska doba končnega efektorja iz SiC keramike?
A4:Ob pravilni uporabi lahko končni efektor SiC zdrži 5- do 10-krat dlje kot tradicionalni kremenovi ali aluminijasti modeli, zahvaljujoč odlični odpornosti na toplotne in mehanske obremenitve.

V5: Ali ponujate nadomestne dele ali storitve hitre izdelave prototipov?
A5:Da, podpiramo hitro izdelavo vzorcev in ponujamo nadomestne storitve na podlagi CAD risb ali obratno inženirskih delov iz obstoječe opreme.

O nas

XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.