SiC keramična grafitna plošča s prevleko SiC CVD za opremo

SiC keramična grafitna plošča s prevleko iz SiC CVD za opremo Predstavljena slika

Kratek opis:

Shanghai Xinkehui New Materials Co., Ltd. proizvaja Φ380mm–Φ600mm polprevodniško jedkalno ploščo, nosilno ploščo z rezinami, pladenj iz silicijevega karbida, pladenj za SIC, pladenj za silicijev karbid, pladenj za jedkanje ICP, pladenj za jedkanje, čistost silicijevega karbida > 99,9 %, življenjska doba pladnja SIC je štirikrat več kot na osnovi grafita CVD pladenj, dolgotrajna uporaba brez deformacij, odporen na FH kislino, koncentrirano H2So4 korozijo.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Keramika iz silicijevega karbida se ne uporablja samo v fazi nanašanja tankega filma, kot je epitaksija ali MOCVD, ali pri obdelavi rezin, v središču katere so pladnji za nosilce rezin za MOCVD najprej izpostavljeni okolju nanašanja, in so zato zelo odporni na toplota in korozija. Nosilci, prevlečeni s SiC, imajo tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

Nosilci rezin iz čistega kemičnega naparjevanja iz silicijevega karbida (CVD SiC) za obdelavo z visokotemperaturnim kemičnim naparjevanjem kovin (MOCVD).

Nosilci za rezine iz čistega CVD SiC so znatno boljši od običajnih nosilcev za rezine, uporabljenih v tem procesu, ki so grafitni in prevlečeni s plastjo CVD SiC. ti prevlečeni nosilci na osnovi grafita ne morejo vzdržati visokih temperatur (1100 do 1200 stopinj Celzija), ki so potrebne za nanašanje GaN današnjih modrih in belih LED z visoko svetlostjo. Visoke temperature povzročijo, da na premazu nastanejo drobne luknjice, skozi katere procesne kemikalije razjedajo grafit pod njim. Delci grafita se nato odluščijo in onesnažijo GaN, kar povzroči zamenjavo prevlečenega nosilca rezin.

CVD SiC ima čistost 99,999 % ali več in ima visoko toplotno prevodnost in odpornost na toplotni udar. Zato lahko prenese visoke temperature in težka okolja pri proizvodnji LED z visoko svetilnostjo. Je trden monoliten material, ki doseže teoretično gostoto, proizvaja minimalne delce in ima zelo visoko odpornost proti koroziji in eroziji. Material lahko spremeni motnost in prevodnost brez vnosa kovinskih nečistoč. Nosilci za rezine so običajno premera 17 palcev in lahko sprejmejo do 40 rezin velikosti 2-4 palcev.