SiC keramična plošča s grafitnim pladnjem in CVD SiC prevleko za opremo

Silicijeva karbidna keramika se ne uporablja le v fazi nanašanja tankih filmov, kot sta epitaksija ali MOCVD, ali pri obdelavi rezin, kjer so nosilci rezin za MOCVD najprej izpostavljeni okolju nanašanja in so zato zelo odporni na vročino in korozijo. Nosilci, prevlečeni s SiC, imajo tudi visoko toplotno prevodnost in odlične lastnosti porazdelitve toplote.

Nosilci rezin iz silicijevega karbida (CVD SiC) za čiščenje s kemičnim nanašanjem iz pare pri visokih temperaturah za obdelavo s kovinsko organskim kemičnim nanašanjem iz pare (MOCVD).

Čisti CVD nosilci rezin SiC so bistveno boljši od običajnih nosilcev rezin, ki se uporabljajo v tem postopku in so grafitni in prevlečeni s plastjo CVD SiC. Ti prevlečeni nosilci na osnovi grafita ne morejo prenesti visokih temperatur (1100 do 1200 stopinj Celzija), potrebnih za nanašanje GaN današnjih visoko svetlih modrih in belih LED diod. Visoke temperature povzročijo, da se v prevleki razvijejo drobne luknjice, skozi katere procesne kemikalije erodirajo grafit pod njo. Delci grafita se nato odluščijo in onesnažijo GaN, zaradi česar je treba prevlečeni nosilec rezine zamenjati.

CVD SiC ima čistost 99,999 % ali več ter visoko toplotno prevodnost in odpornost proti toplotnim udarcem. Zato lahko prenese visoke temperature in ostra okolja pri proizvodnji visoko svetilnih LED diod. Je trden monolitni material, ki dosega teoretično gostoto, proizvaja minimalno količino delcev in kaže zelo visoko odpornost proti koroziji in eroziji. Material lahko spreminja motnost in prevodnost brez vnosa kovinskih nečistoč. Nosilci rezin imajo običajno premer 17 palcev (43 cm) in lahko sprejmejo do 40 rezin velikosti 2-4 palcev (5-10 cm).