Konzolna lopatica iz silicijevega karbida (konzolna lopatica SiC)

Konzolna lopatica iz silicijevega karbida (SiC konzolna lopatica) – predstavljena slika

Kratek opis:

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Podroben diagram

Pregled izdelka

Konzolna lopatica iz silicijevega karbida, izdelana iz visokozmogljivega reakcijsko vezanega silicijevega karbida (RBSiC), je ključna komponenta, ki se uporablja v sistemih za nalaganje in ravnanje z rezinami za polprevodniške in fotovoltaične aplikacije.
V primerjavi s tradicionalnimi kremenčevimi ali grafitnimi lopaticami ponujajo konzolne lopatice SiC vrhunsko mehansko trdnost, visoko trdoto, nizko toplotno raztezanje in izjemno odpornost proti koroziji. Ohranjajo odlično strukturno stabilnost pri visokih temperaturah, kar izpolnjuje stroge zahteve glede velikih velikosti rezin, daljše življenjske dobe in izjemno nizke kontaminacije.

Z nenehnim razvojem polprevodniških procesov v smeri večjih premerov rezin, večje pretočnosti in čistejših procesnih okolij so konzolne lopatice SiC postopoma nadomestile konvencionalne materiale in postale prednostna izbira za difuzijske peči, LPCVD in sorodno visokotemperaturno opremo.

Značilnosti izdelka

Odlična stabilnost pri visokih temperaturah
- Zanesljivo deluje pri 1000–1300 ℃ brez deformacij.
- Najvišja delovna temperatura do 1380 ℃.
Visoka nosilnost
- Upogibna trdnost do 250–280 MPa, kar je precej več kot pri kremenčevih lopaticah.
- Zmožen dela z rezinami velikega premera (300 mm in več).
Podaljšana življenjska doba in nizko vzdrževanje
- Nizek koeficient toplotnega raztezanja (4,5 × 10⁻⁶ K⁻¹), dobro usklajen z LPCVD premaznimi materiali.
- Zmanjša razpoke in luščenje zaradi napetosti, kar znatno podaljša cikle čiščenja in vzdrževanja.
Odpornost proti koroziji in čistost
- Odlična odpornost na kisline in alkalije.
- Gosta mikrostruktura z odprto poroznostjo <0,1 %, kar zmanjšuje nastajanje delcev in sproščanje nečistoč.
Zasnova, združljiva z avtomatizacijo
- Stabilna geometrija prečnega prereza z visoko dimenzijsko natančnostjo.
- Brezhibno se integrira z robotskimi sistemi za nalaganje in razkladanje rezin, kar omogoča popolnoma avtomatizirano proizvodnjo.

Fizikalne in kemijske lastnosti

Predmet	Enota	Podatki
Najvišja delovna temperatura	℃	1380
Gostota	g/cm³	3,04 – 3,08
Odprta poroznost	%	< 0,1
Upogibna trdnost	MPa	250 (20 ℃), 280 (1200 ℃)
Modul elastičnosti	GPA	330 (20 ℃), 300 (1200 ℃)
Toplotna prevodnost	W/m·K	45 (1200 ℃)
Koeficient toplotnega raztezanja	K⁻¹×10⁻⁶	4,5
Trdota po Vickersu	HV2	≥ 2100
Odpornost na kisline/alkalije	-	Odlično

Standardne dolžine:2378 mm, 2550 mm, 2660 mm
Dimenzije po meri so na voljo na zahtevo

Aplikacije

Polprevodniška industrija
- LPCVD (nizkotlačno kemično nanašanje z naparjanjem)
- Difuzijski procesi (fosfor, bor itd.)
- Termična oksidacija
Fotovoltaična industrija
- Difuzija in premaz polisilicija in monokristalnih rezin
- Visokotemperaturno žarjenje in pasivizacija
Druga področja
- Visokotemperaturna korozivna okolja
- Sistemi za natančno ravnanje z rezinami, ki zahtevajo dolgo življenjsko dobo in nizko stopnjo kontaminacije

Prednosti za stranke

Znižani obratovalni stroški– Daljša življenjska doba v primerjavi s kremenčevimi lopaticami, kar zmanjšuje čas izpada in pogostost zamenjav.
Višji donos– Izjemno nizka kontaminacija zagotavlja čistočo površine rezin in zmanjšuje stopnjo napak.
Pripravljen na prihodnost– Združljivo z velikimi velikostmi rezin in polprevodniškimi postopki naslednje generacije.
Izboljšana produktivnost– Popolnoma združljiv z robotskimi avtomatiziranimi sistemi, kar podpira velikoserijsko proizvodnjo.

Pogosta vprašanja – Konzolna lopatica iz silicijevega karbida

V1: Kaj je konzolna lopatica iz silicijevega karbida?
A: Gre za komponento za podporo in rokovanje z rezinami, izdelano iz reakcijsko vezanega silicijevega karbida (RBSiC). Široko se uporablja v difuzijskih pečeh, LPCVD in drugih visokotemperaturnih polprevodniških in fotovoltaičnih procesih.

V2: Zakaj izbrati SiC namesto kremenčevih lopatic?
A: V primerjavi s kremenčevimi lopaticami lopatice iz SiC ponujajo:

Večja mehanska trdnost in nosilnost
Boljša toplotna stabilnost pri temperaturah do 1380 ℃
Veliko daljša življenjska doba in manj ciklov vzdrževanja
Manjše nastajanje delcev in tveganje kontaminacije
Združljivost z večjimi velikostmi rezin (300 mm in več)

V3: Katere velikosti rezin lahko podpira konzolna lopatica SiC?
A: Standardne lopatice so na voljo za sisteme peči s premerom 2378 mm, 2550 mm in 2660 mm. Na voljo so tudi dimenzije po meri za podporo rezin do 300 mm in več.

O nas

XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.