Keramična vpenjalna glava iz silicijevega karbida za rezino SiC safir Si GAAs

Kratek opis:

Keramična vpenjalna glava iz silicijevega karbida je visokozmogljiva platforma, zasnovana za pregled polprevodnikov, izdelavo rezin in aplikacije lepljenja. Izdelana je iz naprednih keramičnih materialov – vključno s sintranim SiC (SSiC), reakcijsko vezanim SiC (RSiC), silicijevim nitridom in aluminijevim nitridom – in ponuja visoko togost, nizko toplotno razteznost, odlično odpornost proti obrabi in dolgo življenjsko dobo.

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Podroben diagram

Pregled keramične vpenjalne glave iz silicijevega karbida (SiC)

TheKeramična vpenjalna glava iz silicijevega karbidaje visokozmogljiva platforma, zasnovana za pregledovanje polprevodnikov, izdelavo rezin in aplikacije lepljenja. Izdelana iz naprednih keramičnih materialov – vključno zsintran SiC (SSiC), reakcijsko vezan SiC (RSiC), silicijev nitridinaluminijev nitrid—ponujavisoka togost, nizek toplotni raztezek, odlična odpornost proti obrabi in dolga življenjska doba.

Z natančno izdelavo in najsodobnejšim poliranjem vpenjalna glava zagotavljasubmikronska ravnost, površine zrcalne kakovosti in dolgoročna dimenzijska stabilnost, zaradi česar je idealna rešitev za kritične polprevodniške procese.

Ključne prednosti

Visoka natančnost
Nadzor ravnosti znotraj0,3–0,5 μm, kar zagotavlja stabilnost rezin in dosledno natančnost procesa.
Poliranje zrcalnih površin
DosežeRa 0,02 μmhrapavost površine, kar zmanjšuje praske in kontaminacijo rezin – idealno za ultra čista okolja.
Ultra lahka
Močnejši, a lažji od kremenčevih ali kovinskih substratov, kar izboljša nadzor gibanja, odzivnost in natančnost pozicioniranja.
Visoka togost
Izjemen Youngov modul zagotavlja dimenzijsko stabilnost pri velikih obremenitvah in delovanju pri visokih hitrostih.
Nizka toplotna razteznost
CTE se zelo ujema s silicijevimi rezinami, kar zmanjšuje toplotne obremenitve in povečuje zanesljivost procesa.
Izjemna odpornost proti obrabi
Izjemna trdota ohranja ravnost in natančnost tudi pri dolgotrajni uporabi z visoko frekvenco.

Proizvodni proces

Priprava surovin
Visoko čisti SiC prahovi z nadzorovano velikostjo delcev in izjemno nizko vsebnostjo nečistoč.
Oblikovanje in sintranje
Tehnike, kot sosintranje brez tlaka (SSiC) or reakcijsko vezanje (RSiC)ustvarijo goste, enakomerne keramične podlage.
Precizna obdelava
CNC brušenje, lasersko obrezovanje in ultra precizna obdelava dosegajo toleranco ±0,01 mm in vzporednost ≤3 μm.
Površinska obdelava
Večstopenjsko brušenje in poliranje do Ra 0,02 μm; na voljo so tudi premazi za odpornost proti koroziji ali prilagojene lastnosti trenja.
Inšpekcijski pregled in nadzor kakovosti
Interferometri in merilniki hrapavosti preverjajo skladnost s specifikacijami polprevodniškega razreda.

Tehnične specifikacije

Parameter	Vrednost	Enota
Ploskost	≤0,5	μm
Velikosti rezin	6'', 8'', 12'' (na voljo po meri)	—
Vrsta površine	Vrsta zatiča / Vrsta obroča	—
Višina žebljička	0,05–0,2	mm
Min. premer zatiča	ϕ0,2	mm
Min. razmik med zatiči	3	mm
Min. širina tesnilnega obroča	0,7	mm
Hrapavost površine	Ra 0,02	μm
Toleranca debeline	±0,01	mm
Toleranca premera	±0,01	mm
Toleranca vzporednosti	≤3	μm

Glavne aplikacije

Oprema za pregled polprevodniških rezin
Sistemi za izdelavo in prenos rezin
Orodja za lepljenje in pakiranje rezin
Napredna proizvodnja optoelektronskih naprav
Precizni instrumenti, ki zahtevajo ultra ravne in ultra čiste površine

Vprašanja in odgovori – Keramična vpenjalna glava iz silicijevega karbida

V1: Kakšne so primerjave keramičnih vpenjalnih glavic SiC s kremenčevimi ali kovinskimi vpenjali?
A1: Vpenjalne glave iz SiC so lažje, togejše in imajo CTE blizu silicijevih rezin, kar zmanjšuje toplotno deformacijo. Ponujajo tudi vrhunsko odpornost proti obrabi in daljšo življenjsko dobo.

V2: Kakšno ravnost je mogoče doseči?
A2: Nadzorovano znotraj0,3–0,5 μm, ki izpolnjuje stroge zahteve proizvodnje polprevodnikov.

V3: Ali bo površina opraskala rezine?
A3: Ne – zrcalno polirano doRa 0,02 μm, kar zagotavlja ravnanje brez prask in zmanjšano nastajanje delcev.

V4: Katere velikosti rezin so podprte?
A4: Standardne velikosti6'', 8'' in 12'', z možnostjo prilagoditve.

V5: Kakšna je toplotna upornost?
A5: SiC keramika zagotavlja odlično delovanje pri visokih temperaturah z minimalno deformacijo pri termičnih ciklih.

O nas

XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.