Silicijev karbid keramični pladenj sesal silicijev karbid keramična cev oskrba z visoko temperaturo sintranje po meri obdelava po meri

Kratek opis:

Keramični pladenj za silicijev karbid in keramične cevi iz silicijevega karbida so nepogrešljivi visokozmogljivi materiali v proizvodnji polprevodnikov. Keramični pladenj iz silicijevega karbida se uporablja predvsem pri obdelavi rezin pri fiksiran in ležaju, da se zagotovi stabilnost visoko natančnega procesa; Keramične cevi iz silicijevega karbida se pogosto uporabljajo v ceveh s peči z visoko temperaturo, difuzijskih peči in drugih scenarijih, da zdržijo ekstremna okolja in ohranjajo učinkovito toplotno upravljanje. Oba temeljita na silicijevem karbidu kot osnovnem materialu, ki je zaradi svojih odličnih fizikalnih in kemijskih lastnosti postal ključna sestavina v polprevodniški industriji.

Pošljite nam e -pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Glavne lastnosti:

1. Keramični pladenj iz silicijevega karbida
- Visoka trdota in odpornost proti obrabi: trdota je blizu diamanta in lahko dolgo zdrži mehansko obrabo pri obdelavi rezin.
- Visoka toplotna prevodnost in nizka koeficient toplotne ekspanzije: hitra disipacija toplote in dimenzijska stabilnost, ki preprečuje deformacijo, ki jo povzroča toplotni stres.
- Visoka ploščata in površinska obdelava: površinska plošča je do nivoja mikrona, kar zagotavlja popoln stik med rezino in diskom, kar zmanjšuje kontaminacijo in poškodbe.
Kemična stabilnost: močna korozijska odpornost, primerna za mokrim čiščenja in procese jedkanja v proizvodnji polprevodnikov.
2. Keramična cev iz silicijevega karbida
- Visoko temperaturno odpornost: dolgo lahko deluje v visoko temperaturnem okolju nad 1600 ° C, primerno za polprevodniški visokotemperaturni postopek.
Odlična korozijska odpornost: odporna na kisline, alkalije in različna kemična topila, primerna za ostra procesna okolja.
- Visoka trdota in odpornost proti obrabi: Upirajte erozijo delcev in mehansko obrabo, podaljšajte življenjsko dobo.
- Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotne ekspanzije: hitra prevodnost toplotne in dimenzijske stabilnosti, zmanjšanje deformacije ali razpok, ki ga povzroča toplotni stres.

Parameter izdelka:

Parameter keramičnega pladnja iz silicijevega karbida:

(Materialna lastnost)		(Enota)	(ssic)
(Vsebina sic)		(Wt)%	> 99
(Povprečna velikost zrnja)		mikron	4-10
(Gostota)		kg/dm3	> 3.14
(Navidezna poroznost)		VO1%	<0,5
(Trdota Vickers)	HV 0,5	GPA	28
() Fleksibilna moč (tri točke)	20 ° C.	MPA	450
(Tlačna trdnost)	20 ° C.	MPA	3900
(Elastični modul)	20 ° C.	GPA	420
(Zlobana žilavost)		MPA/M '%	3.5
(Toplotna prevodnost)	20 ° ° C.	W/(m*k)	160
(Upornost)	20 ° ° C.	Ohm.cm	106-108
(Koeficient toplotne ekspanzije)	A (RT ** ... 80 ° C)	K-1*10-6	4.3
(Najvišja delovna temperatura)		oºC	1700

Parameter keramične cevi iz silicijevega karbida:

Predmete	Indeks
α-sic	99% min
Navidezna poroznost	16% max
Gostota v razsutem stanju	2,7G/cm3 min
Upogibanje trdnosti pri visoki temperaturi	100 MPa min
Koeficient toplotne ekspanzije	K -1 4,7x10 -6
Koeficient toplotne prevodnosti (1400 ° C)	24 w/mk
Max. Delovna temperatura	1650 ° C.

Glavne aplikacije:

1. Keramični krožnik iz silicijevega karbida
- Rezanje in poliranje rezin: služi kot ležajna platforma za zagotovitev visoke natančnosti in stabilnosti med rezanjem in poliranjem.
- Proces litografije: rezina je pritrjena v litografskem stroju, da se zagotovi visoko natančnost med izpostavljenostjo.
- Kemično mehansko poliranje (CMP): deluje kot podporna platforma za poliranje blazinic, ki zagotavlja enakomerno porazdelitev tlaka in toplote.
2. Keramična cev iz silicijevega karbida
- Cev za peči z visoko temperaturo: Uporablja se za visokotemperaturno opremo, kot sta difuzijska peč in oksidacijska peč za prevoz rezin za visoko temperaturno obdelavo procesov.
- CVD/PVD postopek: kot ležajna cev v reakcijski komori, odporna na visoke temperature in korozivne pline.
- Dodatki za polprevodniško opremo: za toplotne izmenjevalnike, plinovode itd. Za izboljšanje učinkovitosti toplotnega upravljanja opreme.
XKH ponuja celotno ponudbo storitev po meri za keramične pladnje iz silicijevega karbida, sesalne skodelice in keramične cevi iz silicijevega karbida. Keramični pladnji iz silicijevega karbida in sesalne skodelice, XKH lahko prilagodite glede na zahteve kupcev različnih velikosti, oblik in hrapavosti površine ter podpirajo posebno obdelavo prevleke, povečajo odpornost na obrabo in korozijsko odpornost; Za keramične cevi iz silicijevega karbida lahko XKH prilagodi različne notranje premera, zunanji premer, dolžino in kompleksno strukturo (kot sta oblikovana cev ali porozna cev) ter zagotavlja poliranje, antioksidacijsko prevleko in druge procese površinskega obdelave. XKH zagotavlja, da lahko kupci v celoti izkoristijo koristi iz zmogljivosti keramičnih izdelkov iz silicijevega karbida, da bodo zadostili zahtevnim zahtevam višjega cenovnega proizvodnega polja, kot so polprevodniki, LED in fotovoltaiki.