Silikonski karbidni keramični pladenj za sesanje Silikonska karbidna keramična cev za visokotemperaturno sintranje po meri
Glavne značilnosti:
1. Keramični pladenj iz silicijevega karbida
- Visoka trdota in odpornost proti obrabi: trdota je blizu diamantu in lahko dolgo časa prenese mehansko obrabo pri obdelavi rezin.
- Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja: hitro odvajanje toplote in dimenzijska stabilnost, kar preprečuje deformacije zaradi toplotnih obremenitev.
- Visoka ravnost in površinska obdelava: Ravnost površine je do mikronske ravni, kar zagotavlja popoln stik med rezino in diskom ter zmanjšuje kontaminacijo in poškodbe.
Kemijska stabilnost: Močna odpornost proti koroziji, primerna za mokro čiščenje in jedkanje pri proizvodnji polprevodnikov.
2. Keramična cev iz silicijevega karbida
- Odpornost na visoke temperature: Lahko deluje v okolju z visokimi temperaturami nad 1600 °C dlje časa, primerno za visokotemperaturne procese polprevodnikov.
Odlična odpornost proti koroziji: odporna na kisline, alkalije in različna kemična topila, primerna za zahtevna procesna okolja.
- Visoka trdota in odpornost proti obrabi: odporni na erozijo delcev in mehansko obrabo, podaljšajo življenjsko dobo.
- Visoka toplotna prevodnost in nizek koeficient toplotnega raztezanja: hitro prevajanje toplote in dimenzijska stabilnost, kar zmanjšuje deformacije ali razpoke, ki jih povzročajo toplotne obremenitve.
Parameter izdelka:
Parameter keramičnega pladnja iz silicijevega karbida:
| (Materialna lastnina) | (Enota) | (sic) | |
| (vsebnost SiC) | (masa)% | >99 | |
| (Povprečna velikost zrn) | mikron | 4–10 | |
| (Gostota) | kg/dm3 | >3,14 | |
| (Navidezna poroznost) | Vo1% | <0,5 | |
| (Vickersova trdota) | Visokonapetostna napetost 0,5 | GPA | 28 |
| *() Upogibna trdnost* (tri točke) | 20 °C | MPa | 450 |
| (Tlačna trdnost) | 20 °C | MPa | 3900 |
| (Elastični modul) | 20 °C | GPA | 420 |
| (Žilavost proti zlomu) | MPa/m⁻⁹ | 3,5 | |
| (Toplotna prevodnost) | 20 °C | W/(m*K) | 160 |
| (Upornost) | 20 °C | Ohm.cm | 106–108 |
(Koeficient toplotnega raztezanja) | a(sobna temperatura**...80 °C) | K-1*10-6 | 4.3 |
(Najvišja delovna temperatura) | °C | 1700 | |
Parameter keramične cevi iz silicijevega karbida:
| Predmeti | Kazalo |
| α-SIC | 99 % najmanj |
| Navidezna poroznost | največ 16 % |
| Gostota v razsutem stanju | 2,7 g/cm3 min |
| Upogibna trdnost pri visoki temperaturi | 100 MPa min. |
| Koeficient toplotnega raztezanja | K-1 4,7x10 -6 |
| Koeficient toplotne prevodnosti (1400 °C) | 24 W/mk |
| Maks. delovna temperatura | 1650 °C |
Glavne aplikacije:
1. Keramična plošča iz silicijevega karbida
- Rezanje in poliranje rezin: služi kot nosilna ploščad za zagotavljanje visoke natančnosti in stabilnosti med rezanjem in poliranjem.
- Litografski postopek: Rezina je pritrjena v litografskem stroju, da se zagotovi visoka natančnost pozicioniranja med osvetlitvijo.
- Kemično mehansko poliranje (CMP): deluje kot podporna platforma za polirne blazinice, ki zagotavlja enakomeren pritisk in porazdelitev toplote.
2. Keramična cev iz silicijevega karbida
- Cev za visokotemperaturno peč: uporablja se za visokotemperaturno opremo, kot sta difuzijska peč in oksidacijska peč, za prenos rezin za visokotemperaturno obdelavo.
- Postopek CVD/PVD: Kot nosilna cev v reakcijski komori, odporna na visoke temperature in korozivne pline.
- Dodatki za polprevodniško opremo: za toplotne izmenjevalnike, plinovode itd., za izboljšanje učinkovitosti upravljanja s toploto opreme.
XKH ponuja celotno paleto storitev po meri za keramične pladnje, priseske in keramične cevi iz silicijevega karbida. Keramične pladnje in priseske iz silicijevega karbida podjetja XKH je mogoče prilagoditi zahtevam strank glede različnih velikosti, oblik in hrapavosti površine ter podpirati posebno obdelavo s premazom, izboljšati odpornost proti obrabi in koroziji. Za keramične cevi iz silicijevega karbida lahko XKH prilagodi različne notranje premere, zunanje premere, dolžine in kompleksne strukture (kot so oblikovane cevi ali porozne cevi) ter nudi poliranje, antioksidacijski premaz in druge postopke površinske obdelave. XKH zagotavlja, da lahko stranke v celoti izkoristijo prednosti delovanja keramičnih izdelkov iz silicijevega karbida, da izpolnijo zahtevne zahteve vrhunskih proizvodnih področij, kot so polprevodniki, LED diode in fotovoltaika.
Podroben diagram
