Silikonsko-karbidna keramična viličasta roka/ročaj za kritične sisteme za ravnanje
Podroben diagram


Predstavitev silicijevega karbidnega keramičnega vilicnega ročaja/roke
TheSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaje vrhunska komponenta, razvita za napredno industrijsko avtomatizacijo, obdelavo polprevodnikov in ultra čista okolja. Zaradi svoje značilne viličaste arhitekture in ultra ravne keramične površine je idealna za ravnanje z občutljivimi substrati, vključno s silicijevimi rezinami, steklenimi ploščami in optičnimi napravami. Natančno zasnovana in izdelana iz ultra čistega silicijevega karbida,Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaponuja neprekosljivo mehansko trdnost, toplotno zanesljivost in nadzor kontaminacije.
Za razliko od običajnih kovinskih ali plastičnih ročic,Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaZagotavlja stabilno delovanje v ekstremnih toplotnih, kemičnih in vakuumskih pogojih. Ne glede na to, ali deluje v čisti sobi razreda 1 ali v visokovakuumski plazemski komori, ta komponenta zagotavlja varen, učinkovit in brez ostankov transport dragocenih delov.
S strukturo, prilagojeno za robotske roke, rokovalce rezin in orodja za avtomatiziran prenos,Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaje pametna nadgradnja za kateri koli visoko natančen sistem.


Proizvodni proces silicijevega karbidnega keramičnega vilic/roke
Izdelava visokozmogljivegaSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokavključuje strogo nadzorovan potek dela v keramičnem inženirstvu, ki zagotavlja ponovljivost, zanesljivost in izjemno nizke stopnje napak.
1. Materialno inženirstvo
Pri izdelavi se uporablja samo prah silicijevega karbida ultra visoke čistosti.Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/roka, kar zagotavlja nizko ionsko kontaminacijo in visoko trdnost v razsutem stanju. Praški so natančno zmešani z dodatki za sintranje in vezivi, da se doseže optimalno zgoščevanje.
2. Oblikovanje osnovne strukture
Osnovna geometrijaroka/roka vilicse oblikuje s hladnim izostatičnim stiskanjem ali brizganjem, kar zagotavlja visoko gostoto surovega materiala in enakomerno porazdelitev napetosti. Oblika U je optimizirana za razmerje med togostjo in težo ter dinamični odziv.
3. Postopek sintranja
Zeleno teloSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokase sintra v visokotemperaturni peči z inertnim plinom pri temperaturi nad 2000 °C. Ta korak zagotavlja skoraj teoretično gostoto, s čimer se ustvari komponenta, ki je odporna na razpoke, upogibanje in dimenzijska odstopanja pri dejanskih toplotnih obremenitvah.
4. Precizno brušenje in obdelava
Za oblikovanje končnih dimenzij se uporablja napredno CNC diamantno orodjeSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaNatančne tolerance (±0,01 mm) in gladka površina zmanjšujejo sproščanje delcev in mehanske obremenitve.
5. Čiščenje in kondicioniranje površin
Končna površinska obdelava vključuje kemično poliranje in ultrazvočno čiščenje za pripravoroka/roka vilicza neposredno integracijo v ultra čiste sisteme. Na voljo so tudi dodatni premazi (CVD-SiC, antirefleksne plasti).
Ta natančen postopek zagotavlja, da vsakSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaizpolnjuje najstrožje industrijske standarde, vključno z zahtevami SEMI in ISO za čiste prostore.
Parameter silicijeve karbidne keramične vilice/roke
Predmet | Preskusni pogoji | Podatki | Enota |
Vsebnost silicijevega karbida | / | >99,5 | % |
Povprečna velikost zrn | / | 4–10 | mikron |
Gostota | / | >3,14 | g/cm3 |
Navidezna poroznost | / | <0,5 | Vol % |
Trdota po Vickersu | HV0,5 | 2800 | kg/mm2 |
Modul lomnosti (3 točke) | Velikost testne palice: 3 x 4 x 40 mm | 450 | MPa |
Kompresijska trdnost | 20°C | 3900 | MPa |
Modul elastičnosti | 20°C | 420 | GPA |
Zlomna žilavost | / | 3,5 | MPa/m1/2 |
Toplotna prevodnost | 20°C | 160 | W/(mK) |
Električna upornost | 20°C | 106-108 | Ωcm |
Koeficient toplotnega raztezanja | 20–800 °C | 4.3 | K-110-6 |
Najvišja temperatura uporabe | Oksidna atmosfera | 1600 | °C |
Najvišja temperatura uporabe | Inertna atmosfera | 1950 | °C |
Uporaba silicijevega karbidnega keramičnega vilicnega ročaja/roke
TheSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaje zasnovan za uporabo v visoko natančnih, tveganih in na kontaminacijo občutljivih aplikacijah. Omogoča zanesljivo ravnanje, prenos ali podporo kritičnih komponent brez kompromisov.
➤ Polprevodniška industrija
-
Uporablja se kot robotska vilica v postajah za prenos rezin na sprednjem delu in FOUP postajah.
-
Integrirano v vakuumske komore za plazemsko jedkanje in PVD/CVD postopke.
-
Deluje kot nosilna roka v metrologiji in orodjih za poravnavo rezin.
TheSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaodpravlja tveganja elektrostatične razelektritve (ESD), podpira dimenzijsko natančnost in je odporen na plazemsko korozijo.
➤ Fotonika in optika
-
Podpira občutljive leče, laserske kristale in senzorje med izdelavo ali pregledom.
Njegova visoka togost preprečuje vibracije, keramično ohišje pa preprečuje kontaminacijo optičnih površin.
➤ Izdelava zaslonov in panelov
-
Med transportom ali pregledom ravna s tankim steklom, OLED moduli in LCD podlagami.
Ploska in kemično inertnaSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaščiti pred praskami ali kemičnim jedkanjem.
➤ Letalska in znanstvena industrija
-
Uporablja se pri sestavljanju satelitske optike, vakuumski robotiki in nastavitvah sinhrotronskih žarkov.
Brezhibno deluje v čistih prostorih vesoljskega razreda in okoljih, izpostavljenih sevanju.
Na vsakem področju,Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokapoveča učinkovitost sistema, zmanjša okvare delov in skrajša čas izpada.

Pogosta vprašanja – Pogosto zastavljena vprašanja o silicijevem karbidnem keramičnem ročaju/roki vilic
V1: Zakaj so vilice iz silicijevega karbida in keramične vilice boljše od kovinskih alternativ?
TheSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaIma vrhunsko trdoto, manjšo gostoto, boljšo kemično odpornost in bistveno manjši toplotni raztezek kot kovine. Prav tako je primeren za čiste prostore in ne povzroča korozije ali nastajanja delcev.
V2: Ali lahko zahtevam dimenzije po meri za mojo roko/roko vilic iz silicijevega karbida?
Da. Ponujamo popolno prilagoditev, vključno s širino vilic, debelino, montažnimi luknjami, izrezi in površinsko obdelavo. Ne glede na to, ali gre za 6", 8" ali 12" rezine, vašeroka/roka vilicse lahko prilagodi po meri.
V3: Kako dolgo zdrži silicijev karbidna keramična vilica pod plazmo ali vakuumom?
Zaradi materiala SiC visoke gostote in inertne narave,roka/roka vilicostane funkcionalen tudi po tisočih procesnih ciklih. Kaže minimalno obrabo pri agresivnih toplotnih obremenitvah s plazmo ali vakuumom.
V4: Ali je izdelek primeren za čiste prostore ISO razreda 1?
Absolutno.Silicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokaje izdelan in pakiran v certificiranih čistih prostorih, kjer so ravni delcev precej pod zahtevami ISO razreda 1.
V5: Kakšna je najvišja delovna temperatura za to vilično roko/roko?
TheSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/rokalahko deluje neprekinjeno pri temperaturah do 1500 °C, zaradi česar je primeren za neposredno uporabo v visokotemperaturnih procesnih komorah in termičnih vakuumskih sistemih.
Ta pogosta vprašanja odražajo najpogostejše tehnične pomisleke inženirjev, vodij laboratorijev in sistemskih integratorjev, ki uporabljajoSilicijev karbidni keramični vilični ročaj/roka.
O nas
XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.
