TGV steklene podlage 12-palčna rezina Prebijanje stekla

Steklene podlage delujejo bolje v smislu toplotnih lastnosti, fizične stabilnosti in so bolj odporne na vročino ter manj nagnjene k težavam zvijanja ali deformacije zaradi visokih temperatur;

Poleg tega edinstvene električne lastnosti steklenega jedra omogočajo manjše dielektrične izgube, kar omogoča jasnejši signal in prenos moči. Posledično se zmanjša izguba moči med prenosom signala in splošna učinkovitost čipa se naravno poveča. Debelino substrata steklenega jedra je mogoče zmanjšati za približno polovico v primerjavi s plastiko ABF, tanjšanje pa izboljša hitrost prenosa signala in energetsko učinkovitost.

Tehnologija oblikovanja lukenj TGV:

Metoda lasersko induciranega jedkanja se uporablja za induciranje neprekinjenega območja denaturacije s pomočjo impulznega laserja, nato pa se lasersko obdelano steklo da v raztopino fluorovodikove kisline za jedkanje. Hitrost jedkanja stekla denaturacijske cone v fluorovodikovi kislini je hitrejša kot pri nedenaturiranem steklu, ki nastane skozi luknje.

Polnjenje TGV:

Najprej se naredijo slepe luknje TGV. Drugič, semenska plast je bila odložena znotraj slepe luknje TGV s fizičnim naparjevanjem (PVD). Tretjič, galvanizacija od spodaj navzgor doseže brezhibno polnjenje TGV; Nazadnje, z začasnim lepljenjem, povratnim brušenjem, izpostavljenostjo bakra s kemičnim mehanskim poliranjem (CMP), odvajanjem, oblikovanjem s kovino napolnjene prenosne plošče TGV.