Ultra precizna SiC zračno uležajena mizica

Izpostavljena slika ultra precizne SiC zračno uležajene mizice

Kratek opis:

Z nenehnim razvojem polprevodniške industrije zahteva oprema za obdelavo in pregledovanje vedno večjo zmogljivost. Na podlagi obsežnega strokovnega znanja na področju krmiljenja gibanja in pozicioniranja na nanometrski ravni smo razvili planarno dvoosno ultra precizno mizico tipa H z zračnim ležajem.

Pošljite nam e-pošto

Značilnosti

Podroben diagram

Pregled

Zasnovana s keramično strukturo silicijevega karbida (SiC), optimizirano s končnimi elementi, in tehnologijo kompenziranih zračnih ležajev, miza zagotavlja izjemno natančnost, togost in dinamični odziv. Idealna je za:

Obdelava in pregled polprevodnikov
Mikro/nano izdelava in metrologija
Nanometrsko rezanje in poliranje
Visokohitrostno natančno skeniranje

Ključne lastnosti

Vodilo z zračnim ležajem SiCza izjemno visoko togost in natančnost
Visoka dinamika: hitrost do 1 m/s, pospešek do 4 g, hitro posedanje
Dvojni pogon portala Y osizagotavlja visoko nosilnost in stabilnost
Možnosti kodirnikaoptična rešetka ali laserski interferometer
Natančnost pozicioniranja±0,15 μm;ponovljivost±75 nm
Optimizirano napeljavo kablovza čisto zasnovo in dolgoročno zanesljivost
Prilagodljive konfiguracijeza specifične potrebe uporabe

Ultra natančna zasnova in arhitektura z neposrednim pogonom brez stika

Keramični okvir SiC: ~5× togost aluminijeve zlitine in ~5× nižji toplotni raztezek, kar zagotavlja stabilnost pri visokih hitrostih in toplotno robustnost.
Kompenzirani zračni ležajLastniška zasnova povečuje togost, nosilnost in stabilnost gibanja.
Dinamična zmogljivostPodpira hitrost 1 m/s in pospešek 4 g, idealno za visokozmogljive procese.
Brezhibna integracijaZdružljivo s sistemi za izolacijo vibracij, rotacijskimi mizami, nagibnimi moduli in platformami za ravnanje z rezinami.
Upravljanje kablovNadzorovan polmer upogibanja zmanjšuje obremenitev za daljšo življenjsko dobo.

Linearni motor brez jedraGladko gibanje brez sile zamaha.
Večmotorni pogonNamestitev motorja v obremenitveni ravnini izboljša ravnost, ravnost in kotno natančnost.
Toplotna izolacijaMotorji so izolirani od odrske konstrukcije; za visoke obremenitve je na voljo zračno ali vodno hlajenje.

Specifikacije

Model	400–400	500–500	600–600
Osi	X (skeniranje) / Y (korak)	X (skeniranje) / Y (korak)	X (skeniranje) / Y (korak)
Hod (mm)	400 / 400	500 / 500	600 / 600
Natančnost (μm)	±0,15	±0,2	±0,2
Ponovljivost (nm)	±75	±100	±100
Ločljivost (nm)	0,3	0,3	0,3
Največja hitrost (m/s)	1	1	1
Pospešek (g)	4	4	4
Ravnost (μm)	±0,2	±0,3	±0,4
Stabilnost (nm)	±5	±5	±5
Največja obremenitev (kg)	20	20	20
Nagib/nagib/ničenje (ločna sekunda)	±1	±1	±1

Pogoji testiranja:

Dovod zraka: čist, suh; rosišče ≤ 0 °F; filtracija delcev ≤ 0,25 μm; ali 99,99 % dušika.
Natančnost izmerjena 25 mm nad središčem mizice pri 20±1 °C, 40–60 % relativne vlažnosti.

Aplikacije

Polprevodniška litografija, pregled in ravnanje z rezinami
Mikro/nano izdelava in precizna metrologija
Proizvodnja vrhunske optike in interferometrija
Vesoljske in napredne znanstvene raziskave

Pogosta vprašanja – Zračno ležajna miza iz silicijevega karbida

1. Kaj je oder z zračnim nosilcem?

Zračno uležajena miza uporablja tanko plast stisnjenega zraka med mizo in vodilom za zagotavljanjebrez trenja, brez obrabe in izjemno gladko gibanjeZa razliko od običajnih mehanskih ležajev odpravlja zatikanje in zdrs, zagotavlja nanometrsko natančnost in podpira dolgoročno zanesljivost.

2. Zakaj uporabiti silicijev karbid (SiC) za strukturo odra?

Visoka togost: ~5× večja od aluminijeve zlitine, kar zmanjšuje deformacijo med dinamičnim gibanjem.
Nizka toplotna razteznost: ~5× nižje kot pri aluminiju, ohranja natančnost pri temperaturnih nihanjih.
LahkaNižja gostota v primerjavi z jeklom, kar omogoča delovanje pri visokih hitrostih in pospeških.
Odlična stabilnostVrhunsko dušenje in togost za ultra natančno pozicioniranje.

3. Ali oder potrebuje mazanje ali vzdrževanje?

Tradicionalno mazanje ni potrebno, saj obstajabrez mehanskega stikaPriporočeno vzdrževanje vključuje:

Oskrbačist, suh stisnjen zrak ali dušik
Periodični pregled filtrov in sušilnikov
Spremljanje kablov in hladilnih sistemov

4. Kakšne so zahteve glede dovoda zraka?

Rosišče: ≤ 0 °F (≈ –18 °C)
Filtracija delcev: ≤ 0,25 μm
Čist, suh zrak ali 99,99 % čisti dušik
Stabilen tlak z minimalnimi nihanji

O nas

XKH je specializirano za visokotehnološki razvoj, proizvodnjo in prodajo posebnega optičnega stekla in novih kristalnih materialov. Naši izdelki so namenjeni optični elektroniki, potrošniški elektroniki in vojski. Ponujamo safirne optične komponente, pokrove za leče mobilnih telefonov, keramiko, LT, silicijev karbid SIC, kremen in polprevodniške kristalne rezine. Z strokovnim znanjem in najsodobnejšo opremo se odlikujemo v obdelavi nestandardnih izdelkov in si prizadevamo postati vodilno visokotehnološko podjetje na področju optoelektronskih materialov.