4H-N/6H-N SiC rezina Raziskava Proizvodnja lutk Grade Dia150mm Substrat iz silicijevega karbida
Specifikacija substrata iz silicijevega karbida (SiC) s premerom 6 palcev
Razred | Ničelni MPD | Produkcija | Raziskovalna ocena | Dummy Grade |
Premer | 150,0 mm ± 0,25 mm | |||
Debelina | 4H-N | 350 μm ± 25 μm | ||
4H-SI | 500 μm ± 25 μm | |||
Orientacija rezin | Na osi: <0001> ±0,5° za 4H-SI | |||
Primarno stanovanje | {10–10}±5,0° | |||
Primarna dolžina ploščatega dela | 47,5 mm ± 2,5 mm | |||
Izključitev robov | 3 mm | |||
TTV/lok/osnova | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Gostota mikrocevk | ≤1 cm-2 | ≤5 cm-2 | ≤15 cm-2 | ≤50 cm-2 |
Upornost 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028 Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Hrapavost | Poljski Ra ≤1nm CMP Ra ≤0,5nm | |||
#Razpoke zaradi visokointenzivne svetlobe | Nobena | 1 dovoljeno, ≤ 2 mm | Skupna dolžina ≤10 mm, posamezna dolžina ≤2 mm | |
*Šestkotne plošče z visokointenzivno svetlobo | Kumulativna površina ≤1% | Skupna površina ≤ 2 % | Skupna površina ≤ 5 % | |
*Politipizirana območja z visokointenzivno svetlobo | Nobena | Skupna površina ≤ 2 % | Skupna površina ≤ 5 % | |
*&Opraske zaradi visokointenzivne svetlobe | 3 praske na 1 x premer rezine skupne dolžine | 5 prask na 1 x premer rezine kumulativne dolžine | 5 prask na 1 x premer rezine skupna dolžina | |
Robni odrez | Nobena | 3 dovoljene, ≤ 0,5 mm vsaka | 5 dovoljenih, ≤1 mm vsak | |
Kontaminacija z visokointenzivno svetlobo | Nobena
|
Prodaja in storitve za stranke
Nabava materialov
Oddelek za nabavo materialov je odgovoren za zbiranje vseh surovin, potrebnih za proizvodnjo vašega izdelka. Popolna sledljivost vseh izdelkov in materialov, vključno s kemijsko in fizikalno analizo, je vedno na voljo.
Kakovost
Med in po izdelavi ali obdelavi vaših izdelkov je oddelek za nadzor kakovosti vključen v zagotavljanje, da vsi materiali in tolerance ustrezajo ali presegajo vaše specifikacije.
Storitev
Ponosni smo na to, da imamo prodajno inženirsko osebje z več kot 5 leti izkušenj v polprevodniški industriji. Usposobljeni so za odgovarjanje na tehnična vprašanja in za zagotavljanje pravočasnih ponudb za vaše potrebe.
Kadar koli imate težavo, smo vam na voljo in jo rešimo v 10 urah.
Podroben diagram

