4H-N/6H-N SiC Wafer Reasearch proizvodnja Dummy grade Dia150mm substrat iz silicijevega karbida
Specifikacija substrata iz silicijevega karbida (SiC) s premerom 6 palcev
Ocena | Nič MPD | Proizvodnja | Raziskovalna ocena | Dummy Grade |
Premer | 150,0 mm±0,25 mm | |||
Debelina | 4H-N | 350um±25um | ||
4H-SI | 500um±25um | |||
Orientacija rezin | Na osi: <0001>±0,5° za 4H-SI | |||
Primarno stanovanje | {10-10}±5,0° | |||
Primarna ravna dolžina | 47,5 mm±2,5 mm | |||
Izključitev robov | 3 mm | |||
TTV/lok/deformacija | ≤15um/≤40um/≤60um | |||
Gostota mikrocevi | ≤1cm-2 | ≤5cm-2 | ≤15cm-2 | ≤50cm-2 |
Upornost 4H-N 4H-SI | 0,015~0,028Ω!cm | |||
≥1E5Ω!cm | ||||
Hrapavost | Poljski Ra ≤1nm CMP Ra≤0,5nm | |||
#Razpoke zaradi svetlobe visoke intenzivnosti | Noben | 1 dovoljeno, ≤2 mm | Kumulativna dolžina ≤10 mm, posamezna dolžina ≤2 mm | |
* Hex plošče z visoko intenzivnostjo svetlobe | Kumulativna površina ≤1 % | Kumulativna površina ≤ 2 % | Kumulativna površina ≤ 5 % | |
*Politipska območja z visoko intenzivno svetlobo | Noben | Kumulativna površina ≤ 2 % | Kumulativna površina ≤ 5 % | |
*&Praske zaradi visokointenzivne svetlobe | 3 praske na 1 x premer rezine kumulativne dolžine | 5 prask na 1 x premer rezine kumulativne dolžine | 5 prask na 1 x premer rezine kumulativne dolžine | |
Robni čip | Noben | 3 dovoljeni, ≤0,5 mm vsak | 5 dovoljenih, ≤1 mm vsak | |
Kontaminacija z visoko intenzivno svetlobo | Noben
|
Prodaja in storitve za stranke
Nakup materialov
Oddelek za nabavo materialov je odgovoren za zbiranje vseh surovin, potrebnih za proizvodnjo vašega izdelka. Vedno je na voljo popolna sledljivost vseh izdelkov in materialov, vključno s kemičnimi in fizikalnimi analizami.
Kakovost
Med in po proizvodnji ali strojni obdelavi vaših izdelkov je oddelek za nadzor kakovosti vključen v zagotavljanje, da vsi materiali in tolerance ustrezajo ali presegajo vaše specifikacije.
Storitev
Ponosni smo na prodajno inženirsko osebje z več kot 5-letnimi izkušnjami v industriji polprevodnikov. Usposobljeni so za odgovarjanje na tehnična vprašanja in zagotavljanje pravočasnih ponudb za vaše potrebe.
vedno smo vam na strani, ko imate težave, in jih rešimo v 10 urah.