6-palčne 150 mm rezine SiC iz silicijevega karbida tipa 4H-N za raziskave proizvodnje MOS ali SBD in navidezni razred

Kratek opis:

6-palčni monokristalni substrat iz silicijevega karbida je visoko zmogljiv material z odličnimi fizikalnimi in kemičnimi lastnostmi.Izdelan iz monokristalnega materiala silicijevega karbida visoke čistosti, ima vrhunsko toplotno prevodnost, mehansko stabilnost in odpornost na visoke temperature.Ta substrat, izdelan z natančnimi proizvodnimi postopki in visokokakovostnimi materiali, je postal prednostni material za izdelavo visoko učinkovitih elektronskih naprav na različnih področjih.

Pošljite nam e-pošto

Podrobnosti o izdelku

Oznake izdelkov

Polja uporabe

6-palčni monokristalni substrat iz silicijevega karbida igra ključno vlogo v številnih panogah.Prvič, pogosto se uporablja v industriji polprevodnikov za izdelavo visoko zmogljivih elektronskih naprav, kot so močnostni tranzistorji, integrirana vezja in močnostni moduli.Njegova visoka toplotna prevodnost in odpornost na visoke temperature omogočata boljše odvajanje toplote, kar ima za posledico izboljšano učinkovitost in zanesljivost.Drugič, rezine iz silicijevega karbida so bistvenega pomena na raziskovalnih področjih za razvoj novih materialov in naprav.Poleg tega najde rezina iz silicijevega karbida široko uporabo na področju optoelektronike, vključno s proizvodnjo LED in laserskih diod.

Specifikacije izdelka

6-palčni enokristalni substrat iz silicijevega karbida ima premer 6 palcev (približno 152,4 mm).Površinska hrapavost je Ra < 0,5 nm, debelina pa 600 ± 25 μm.Substrat je mogoče prilagoditi s prevodnostjo N-tipa ali P-tipa glede na zahteve kupca.Poleg tega izkazuje izjemno mehansko stabilnost, ki lahko prenese pritisk in tresljaje.

Premer		150±2,0 mm（6 palcev）
Debelina		350 μm±25 μm
Orientacija		Na osi: <0001>±0,5°		Izven osi: 4,0° proti 1120±0,5°
Politip		4H
Upornost (Ω·cm)	4H-N	0,015~0,028 Ω·cm/0,015~0,025ohm·cm
	4/6H-SI	>1E5
Primarna ravna orientacija		{10-10}±5,0°
Primarna ploščata dolžina (mm)		47,5 mm±2,5 mm
Edge		Posnemanje
TTV/lok/deformacija (um)		≤15/≤40/≤60
AFM spredaj (Si-face)		Poljski Ra≤1 nm
		CMP Ra≤0,5 nm
LTV		≤3μm (10mm*10mm)	≤5μm (10mm*10mm)		≤10μm (10mm*10mm)
TTV		≤5μm	≤10 μm		≤15μm
Pomarančna lupina/jamice/razpoke/kontaminacija/madeži/brazde		Noben	Noben		Noben
alineje		Noben	Noben		Noben

6-palčni monokristalni substrat iz silicijevega karbida je visoko zmogljiv material, ki se pogosto uporablja v industriji polprevodnikov, raziskavah in optoelektroniki.Ponuja odlično toplotno prevodnost, mehansko stabilnost in odpornost na visoke temperature, zaradi česar je primeren za izdelavo elektronskih naprav visoke moči in raziskave novih materialov.Nudimo različne specifikacije in možnosti prilagajanja za izpolnjevanje različnih potreb strank.Za več podrobnosti o rezinah iz silicijevega karbida nas kontaktirajte!