FZ CZ Si rezina na zalogi 12-palčna silikonska rezina Prime ali Test
Predstavitev škatle za napolitanke
Polirani vaflji
Silikonske rezine, ki so posebej obojestransko polirane, da dobijo zrcalno površino. Vrhunske lastnosti, kot sta čistost in ravnost, opredeljujejo najboljše lastnosti te rezine.
Nedopirane silicijeve rezine
Znane so tudi kot intrinzične silicijeve rezine. Ta polprevodnik je čista kristalna oblika silicija brez prisotnosti kakršnih koli dopantov v celotni rezini, zaradi česar je idealen in popoln polprevodnik.
Dopirane silicijeve rezine
N-tip in P-tip sta dve vrsti dopiranih silicijevih rezin.
N-tip dopirane silicijeve rezine vsebujejo arzen ali fosfor. Široko se uporablja pri izdelavi naprednih naprav CMOS.
Z borom dopirane silicijeve rezine tipa P. Večinoma se uporablja za izdelavo tiskanih vezij ali fotolitografijo.
Epitaksialne rezine
Epitaksialne rezine so običajne rezine, ki se uporabljajo za pridobitev celovitosti površine. Epitaksialne rezine so na voljo v debelih in tankih rezinah.
Večplastne epitaksialne rezine in debele epitaksialne rezine se uporabljajo tudi za regulacijo porabe energije in krmiljenje moči naprav.
Tanke epitaksialne rezine se običajno uporabljajo v vrhunskih instrumentih MOS.
SOI rezine
Te rezine se uporabljajo za električno izolacijo finih plasti monokristalnega silicija iz celotne silicijeve rezine. SOI rezine se običajno uporabljajo v silicijevi fotoniki in visoko zmogljivih RF aplikacijah. SOI rezine se uporabljajo tudi za zmanjšanje kapacitivnosti parazitskih naprav v mikroelektronskih napravah, kar pomaga izboljšati zmogljivost.
Zakaj je izdelava rezin težavna?
12-palčne silicijeve rezine je zelo težko rezati v smislu izkoristka. Čeprav je silicij trd, je tudi krhek. Groba področja nastanejo, ker se žagani robovi rezin radi zlomijo. Diamantne plošče se uporabljajo za glajenje robov rezin in odstranjevanje morebitnih poškodb. Po rezanju se oblati zlahka lomijo, ker imajo zdaj ostre robove. Robovi rezin so oblikovani tako, da so odstranjeni krhki, ostri robovi in zmanjšana možnost zdrsa. Kot rezultat operacije oblikovanja robov se prilagodi premer oblata, zaokroži oblat (po rezanju je odrezan oblat ovalen), naredijo se zareze ali orientirane ravnine ali velikost.