FZ CZ Si rezina na zalogi 12-palčna silicijeva rezina Prime ali Test
Predstavitev škatle z rezinami
Polirani oblati
Silicijeve rezine, ki so posebej polirane na obeh straneh, da dobijo zrcalno površino. Vrhunske lastnosti, kot sta čistost in ravnost, opredeljujejo najboljše lastnosti te rezine.
Nedopirane silicijeve rezine
Znane so tudi kot intrinzične silicijeve rezine. Ta polprevodnik je čista kristalna oblika silicija brez prisotnosti kakršnih koli dopantov po celotni rezini, zaradi česar je idealen in popoln polprevodnik.
Dopirane silicijeve rezine
N-tip in P-tip sta dve vrsti dopiranih silicijevih rezin.
Silicijeve rezine, dopirane z N-tipom, vsebujejo arzen ali fosfor. Ta se pogosto uporablja pri izdelavi naprednih CMOS naprav.
Z borom dopirane silicijeve rezine tipa P. Večinoma se uporablja za izdelavo tiskanih vezij ali fotolitografijo.
Epitaksialne rezine
Epitaksialne rezine so običajne rezine, ki se uporabljajo za doseganje površinske integritete. Epitaksialne rezine so na voljo v debelih in tankih rezinah.
Večplastne epitaksialne rezine in debele epitaksialne rezine se uporabljajo tudi za regulacijo porabe energije in nadzor moči naprav.
Tanke epitaksialne rezine se pogosto uporabljajo v vrhunskih MOS instrumentih.
SOI rezine
Te rezine se uporabljajo za električno izolacijo tankih plasti monokristalnega silicija od celotne silicijeve rezine. Rezine SOI se pogosto uporabljajo v silicijevi fotoniki in visokozmogljivih RF aplikacijah. Rezine SOI se uporabljajo tudi za zmanjšanje parazitske kapacitivnosti naprav v mikroelektronskih napravah, kar pomaga izboljšati delovanje.
Zakaj je izdelava rezin težka?
12-palčne silicijeve rezine je zelo težko rezati glede izkoristka. Čeprav je silicij trd, je tudi krhek. Nastanejo hrapava območja, saj se žagani robovi rezin radi zlomijo. Za glajenje robov rezin in odstranjevanje morebitnih poškodb se uporabljajo diamantni diski. Po rezanju se rezine zlahka zlomijo, ker imajo zdaj ostre robove. Robovi rezin so zasnovani tako, da se odpravijo krhki, ostri robovi in zmanjša možnost zdrsa. Zaradi oblikovanja robov se prilagodi premer rezine, rezina se zaokroži (po rezanju je odrezana rezina ovalna) in se naredijo ali prilagodijo zareze ali usmerjene ravnine.
Podroben diagram


